[实用新型]一种双面加热的MOCVD设备

权利要求书

1.一种双面加热的MOCVD设备，包括供电系统、供气系统、水冷系统、反应腔、加热系统和尾气处理系统，其特征在于：所述反应腔包括腔壁(2)、气体分配装置(1)、托盘(6)、隔离罩(8)和旋转模块(4)，所述气体分配装置(1)设置在腔壁(2)的顶部，所述气体分配装置(1)包括总管(11)和喷管(12)，所述喷管(12)上开设有多个喷孔(13)，所述总管(11)与喷管(12)连通，所述总管(11)的进气端位于腔壁(2)外，所述喷管(12)安装在腔壁(2)内，所述托盘(6)固定安装在旋转模块(4)的顶部，所述旋转模块(4)包括电机和转动轴，所述转动轴固定安装在电机的输出轴上，所述托盘(6)固定安装在转动轴的顶部，并位于反应腔内，所述尾气处理系统包括两个排气管路(3)，两个所述排气管路(3)分别设置在腔壁(2)的底部两侧，所述隔离罩(8)呈中空圆形，所述隔离罩(8)安装在加热系统与托盘(6)外侧，所述加热系统包括背面加热模块(5)和表面加热模块(7)，所述背面加热模块(5)安装在托盘(6)的背面，所述表面加热模块(7)安装在腔壁(2)上。

2.根据权利要求1所述的一种双面加热的MOCVD设备，其特征在于：所述背面加热模块(5)安装在托盘(6)与腔壁(2)底部之间，所述转动轴穿设出背面加热模块(5)，所述背面加热模块(5)的表面积与托盘(6)的表面积相同，所述背面加热模块(5)为电阻丝、高频感应加热器、红外线灯管中的任意一种。

3.根据权利要求2所述的一种双面加热的MOCVD设备，其特征在于：所述隔离罩(8)设置在背面加热模块(5)与托盘(6)外侧，所述背面加热模块(5)位于隔离罩(8)内，所述托盘(6)的底部与隔离罩(8)的顶部转动相接。

4.根据权利要求3所述的一种双面加热的MOCVD设备，其特征在于：所述表面加热模块(7)包括两个红外线灯管，两个所述红外线灯管分别安装在腔壁(2)的两侧。

5.根据权利要求4所述的一种双面加热的MOCVD设备，其特征在于：所述托盘(6)呈圆形，所述托盘(6)的上表面开设有若干凹槽，若干所述凹槽均匀分布。