[实用新型]一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料有效
| 申请号： | 202120267484.1 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN215209697U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周正星;徐建明 | 申请（专利权）人： | 延安星特亮科创有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 716000 陕西省延*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 生长 多晶 原料 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：包括由粉状多晶原料压制而成的块状本体、沿上下方向开设于所述块状本体中的管孔，所述管孔的上端贯穿所述块状本体的顶部；所述管孔的下端贯穿所述块状本体的底部。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：所述块状本体具有沿周向抵设于坩埚内侧周部的外侧周部。
3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：所述管孔沿竖直方向延伸。
4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：所述管孔沿上下方向倾斜延伸。
5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：所述管孔为柱形孔或锥形孔。
6.根据权利要求5所述的一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：所述柱形孔的横截面为圆形、椭圆形、或多边形。
7.根据权利要求5所述的一种用于碳化硅单晶生长的多晶原料，其特征在于：所述锥形孔自下而上逐渐张开。
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