[实用新型]掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：

通用掩膜板，包括具有通用蒸镀开口的框式主体和由所述框式主体向所述通用蒸镀开口延伸的遮挡区域，所述遮挡区域上开设有减重部，所述减重部的厚度小于所述框式主体的厚度；

掩膜条，设置于所述通用掩膜板，且所述掩膜条的蒸镀区域覆盖所述通用蒸镀开口，所述蒸镀区域包括多个精密蒸镀开口。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述减重部包括贯穿所述通用掩膜板厚度方向的至少一个过孔，所述过孔沿平行于所述通用掩膜板方向的截面的形状为圆形、椭圆形或多边形。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述减重部包括至少一个凹槽，所述凹槽的深度小于所述通用掩膜板的厚度。

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述通用掩膜板包括第一表面和第二表面，所述凹槽的开口位于所述第一表面，或者，所述凹槽的开口位于所述第二表面。

5.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述通用掩膜板包括第一表面和第二表面，所述减重部包括多个凹槽，部分所述凹槽的开口位于所述第一表面，另一部分所述凹槽的开口位于所述第二表面。

6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，至少部分所述凹槽沿所述通用掩膜板厚度方向的深度相同。

7.根据权利要求3-6任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述凹槽开口的形状为圆形、椭圆形或多边形。

8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述通用蒸镀开口在所述通用掩膜板上呈行列分布，所述掩膜条沿列方向覆盖一列的所述通用蒸镀开口设置，且所述蒸镀区域与所述通用蒸镀开口一一对应，或者，所述蒸镀区域与多个所述通用蒸镀开口对应。

9.根据权利要求8所述的掩膜板，其特征在于，相邻行的所述通用蒸镀开口沿行方向对称，或者，相邻列的所述通用蒸镀开口沿列方向对称。

10.根据权利要求8所述的掩膜板，其特征在于，部分相邻行的所述通用蒸镀开口沿行方向对称，另一部分相邻列所述通用蒸镀开口沿列方向对称。