[实用新型]一种射频传输装置

说明书

本实用新型公开了一种射频传输装置，包括：平行间隔设置的多片电极板，多片电极板之间施加不同极性电压，且电极板之间通过多个具有支撑部的定位柱连接，支撑部支撑在多片电极板之间；每片电极板上分别开设有膨胀缝，在膨胀缝处，多片电极板之间设置有绝缘支撑件。本实用新型平行间隔设置多片电极板，并利用多个具有支撑部的定位柱将多片电极板固定连接，从而实现对射频信号的传输；在每片电极板上均开设膨胀缝，避免了由于频繁使用电极板、或恶劣的工况，而导致电极板膨胀变形，造成电极板之间相互短路的状况；在膨胀缝处设置绝缘支撑件，以防止膨胀缝在电场应力的作用下而发生形变，导致电极板相互接触短路的现象，从而确保传输装置的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及射频技术领域，具体涉及一种射频传输装置。

背景技术

条状射频主要是通过自身的阴极和阳极将射频引入到反应腔室，起到射频传导作用，自身的阴极板和阳极板之间是绝缘的。然而，由于在高温真空下，条状射频传输装置由于频繁使用高功率模式传输射频，因此在热膨胀的影响下，条状射频的电极板容易产生变形，当阴极板和阳极板的间距在1mm以内，将导致正负极之间短路，在射频传导过程中会出现打火，进而导致出现射频反射功率过高而报警。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的射频传输装置的阴极板和阳极板容易出现短路的缺陷，从而提供一种射频传输装置。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供一种射频传输装置，包括：多片电极板，每片电极板平行间隔设置，多片电极板之间施加不同极性电压，多片电极板之间通过多个定位柱连接，定位柱上具有支撑部，支撑部在多片电极板之间；每片电极板上分别开设有膨胀缝，在膨胀缝处，多片电极板之间设置有绝缘支撑件。

在一实施例中，绝缘支撑件与相邻的至少两个定位柱上的支撑部为一体结构。

在一实施例中，绝缘支撑件为聚四氟乙烯板。

在一实施例中，支撑部为套设在定位柱上的环形结构。

在一实施例中，支撑部为聚四氟乙烯环。

在一实施例中，膨胀缝在每片电极板上的相同位置设置，且膨胀缝不完全穿透电极板。

在一实施例中，实用新型电极板设有开口槽，实用新型开口槽沿电极板的长度方向设置，且开口槽的一端贯穿电极板。

在一实施例中，电极板具有两片，两片电极板施加不同电极电压。

在一实施例中，电极板具有三片，其中的两片电极板施加第一电极电压，另一片电极板施加第二电极电压；施加第二电极电压的电极板设置在施加第一电极电压的两片电极板之间，定位柱穿过施加第二电极电压的电极板、且定位柱的两端分别与两片施加第一电极电压的电极板连接。

在一实施例中，第一电极为阳极，同时第二电极为阴极；或者，第一电极为阴极，第二电极为阳极。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

本实用新型提供的射频传输装置，平行间隔设置多片电极板，并利用多个具有支撑部的定位柱将多片电极板，从而实现对射频信号的传输；在每片电极板上均开设膨胀缝，从而避免了由于频繁使用电极板、或恶劣的工况，而导致电极板膨胀变形，造成电极板之间相互短路的状况；在膨胀缝处设置绝缘支撑件，以防止膨胀缝在电场应力的作用下而发生形变，导致电极板相互接触短路的现象，从而确保传输装置的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。