[实用新型]一种三氯氢硅的尾气处理装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：包括旋风除尘器、硅粉回收罐、换热器、光催化反应器、吸收塔、酸罐、碱洗塔、碱罐和水洗塔，所述旋风除尘器的进气口连接至三氯氢硅尾气管道，旋风除尘器的出气口连接至换热器，旋风除尘器的出料口连接至硅粉回收罐，换热器的出气口连接至光催化反应器，光催化反应器的出气口连接至吸收塔，吸收塔顶部设置有第一喷淋器，所述酸罐通过第一循环泵连接至第一喷淋器，吸收塔的出液口连接至酸罐，吸收塔的出气口连接至碱洗塔，碱洗塔顶部设置有第二喷淋器，所述碱罐通过第二循环泵连接至第二喷淋器，碱洗塔的出液口连接至碱罐，碱洗塔的出气口连接至水洗塔，水洗塔顶部设置有第三喷淋器，第三喷淋器的进水口连接至喷淋水管网，水洗塔底部出水口连接至污水管网，水洗塔顶部设置有排空管。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述换热器为列管式热交换器，换热器上设置有冷水入口和热水出口。

3.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述吸收塔、碱洗塔和水洗塔均为玻璃钢洗涤塔，吸收塔、碱洗塔和水洗塔内均设置有多层填料层。

4.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述酸罐顶部设置有喷淋水补水口，补水口上设置有第一进液阀，酸罐底部设置有第一排液管，第一排液管上设置有第一出液阀。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述碱罐顶部设置有氢氧化钠补碱口，补碱口上设置有第二进液阀，碱罐底部设置有第二排液管，第二排液管上设置有第二出液阀。

6.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于：所述酸罐和碱罐均为钢衬四氟储罐，所述第一循环泵和第二循环泵均采用氟塑料离心泵,第一循环泵和第二循环泵的进水口上分别设置有第一过滤器和第二过滤器。