[实用新型]均匀光强曝光机有效

专利信息
申请号: 202120275683.7 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN214375817U 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 马建立 申请(专利权)人: 深圳光韵达光电科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 孟学英
地址: 518000 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 均匀 曝光
【权利要求书】:

1.一种均匀光强曝光机,其特征在于:

包括量子点LED屏和像增强器;

所述量子点LED屏具有发光面;

所述发光面对着所述像增强器以将所述量子点LED屏发出的光照射进所述像增强器;

所述像增强器用于将光照射至像面;

所述量子点LED屏包括:

基底;

设置在所述基底上的电极;

设置在所述电极上且能被所述电极驱动发光的颗粒。

2.根据权利要求1所述均匀光强曝光机,其特征在于:还包括成像镜头;所述成像镜头设置于所述像增强器和所述像面之间。

3.根据权利要求2所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述像增强器具有用于使从所述成像镜头出射的光的强度均匀的设定数值孔径。

4.根据权利要求1或2所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述像增强器具有数值孔径。

5.根据权利要求1所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述像增强器的具体形式包括光导纤维像增强器。

6.根据权利要求5所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述光导纤维像增强器具有光导纤维;所述光导纤维具有用于使从所述像增强器出射的光的强度均匀的设定数值孔径。

7.根据权利要求2所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述成像镜头为能将物像缩小的镜头。

8.根据权利要求1所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述量子点LED屏是作为光源和空间光调制器的器件。

9.根据权利要求1所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述发光面与所述像增强器贴合;所述颗粒为纳米颗粒。

10.根据权利要求2所述均匀光强曝光机,其特征在于:所述像增强器具有光出射面;所述成像镜头具有光接收面和光出射面;所述成像镜头的光接收面与所述像增强器的光出射面之间存在指定的距离;所述成像镜头的光出射面与所述像面之间存在指定的距离。

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