[实用新型]一种光刻机投影物镜的温度控制装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体，所述投影物镜本体的上表面边缘处设置有第一环形夹板，所述第一环形夹板的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫，所述第一环形夹板的一侧外壁上安装有第一连接板，所述投影物镜本体的下表面边缘处设置有第二环形夹板，所述第二环形夹板的上表面边缘处设置有第二胶垫，所述第二环形夹板的一侧外壁上设置有第二连接板，所述第一连接板的外壁上设置有第二螺纹孔。本实用新型有效加强了投影物镜的稳定性，避免投影物镜因为外界因素导致偏移，便于安装拆卸，提高工作人员的便捷性，可以对投影物镜进行均匀的温度调节，保证成像质量。

技术领域

本实用新型涉及光刻机投影物镜技术领域，具体为一种光刻机投影物镜的温度控制装置。

背景技术

光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动，手动指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和角度来完成对准，对准精度可想而知不高了，半自动指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐，自动指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要，而投影物镜是指将物体进行放大成像并投影在屏上的物镜，所以需要一种光刻机投影物镜的温度控制装置。

目前现有的光刻机投影物镜的温度控制装置的缺陷是:

1、现有的光刻机投影物镜的温度控制装置无法对投影物镜的稳定性有所保障，投影物镜容易因为外界因素导致晃动会位移，影响光刻质量。

2、现有的光刻机投影物镜的温度控制装置的安装较为复杂，费时费力，工作人员安装起来十分缓慢，并且不方便维护。

3、现有的光刻机投影物镜的温度控制装置对投影物镜的温度调节时不够均匀，容易导致曝光线条畸变或像散。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机投影物镜的温度控制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机投影物镜的温度控制装置，包括投影物镜本体，所述投影物镜本体的上表面边缘处设置有第一环形夹板，所述第一环形夹板的下表面一侧边缘处安装有第一胶垫，所述第一环形夹板的一侧外壁上安装有第一连接板，所述投影物镜本体的下表面边缘处设置有第二环形夹板，所述第二环形夹板的上表面边缘处设置有第二胶垫，所述第二环形夹板的一侧外壁上设置有第二连接板，所述第一连接板的外壁上设置有第二螺纹孔，所述第二连接板的外壁上设置有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔的内部设置有螺纹杆，所述投影物镜本体的外壁上设置有环形水套。

优选的，所述第一胶垫的另一侧外壁与投影物镜本体的上表面相接触。

优选的，所述第二胶垫的另一侧外壁与投影物镜本体的上表面相接触。

优选的，所述螺纹杆的一端位于第二螺纹孔内，且螺纹杆的另一端安装有安装板，安装板的下表面设置有调节把手。

优选的，所述环形水套的上表面一侧设置有进水管，且环形水套的下表面一侧设置有出水管。

优选的，所述第一连接板通过螺栓与第二连接板相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过投影物镜本体、第一胶垫、第二胶垫、第一环形夹板和第二环形夹板的配合设置，使用时，将投影物镜本体通过第一环形夹板和第二环形夹板夹持住，第一环形夹板和第二环形夹板上的第一胶垫和第二胶垫的设置可以使得投影物镜本体更加稳定，不会因为外界因素导致晃动或出现位移，提高了投影物镜本体使用时的稳定性，加强了投影质量。