[实用新型]一种区熔单晶炉高频加热掺杂线圈

权利要求书

1.一种区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，包括线圈本体和用于将掺杂气体送入熔区的掺杂管路，其特征在于：所述掺杂管路设置在线圈本体内部，所述掺杂管路的出气口设置在线圈本体内侧刃口处，掺杂管路沿线圈本体径向设置。

2.根据权利要求1所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，其特征在于：所述线圈本体内部还设有便于线圈本体散热的环形冷却水路。

3.根据权利要求2所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，其特征在于：所述线圈本体外侧边缘位置还设有用于对其固定的固定部，所述固定部上设有冷却水路连通的进水口和出水口。

4.根据权利要求3所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，其特征在于：所述固定部包括两个固定块，其中一个固定块上设有与冷却水路一端连通的进水口，另一个固定块上设有与冷却水路另一端连通的出水口；

两个固定块上均设有用于对固定块固定的螺栓孔。

5.根据权利要求3所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，其特征在于：所述冷却水路包括本体正面开置的环形凹槽，以及用于对环形凹槽密封的环形盖板，所述环形盖板与线圈本体固定连接。

6.根据权利要求5所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，其特征在于：所述线圈本体上面还设有与环形盖板对应的环形凹台，所述环形凹台的深度与环形盖板的厚度相同，所述环形盖板固设在环形凹台内。

7.根据权利要求3所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，其特征在于：所述掺杂管路的进气口设置在线圈本体的边缘位置；

所述冷却水路与掺杂管道接触的位置向线圈本体背面弯折形成环绕部，所述线圈本体的背面设有用于对环绕部密封的连接盖板，所述环绕部与连接盖板配合形成绕过掺杂管道的U形水路。