[实用新型]升降销固定器、升降销组件及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种升降销固定器，其特征在于，包括：

主体，所述主体顶部设置有多个瓣状件；

插入口，所述插入口位于多个所述瓣状件之间，且向主体内部延伸，用于容纳所述升降销；

第一紧箍件，可活动设置于所述瓣状件的外侧，用于使多个所述瓣状件至少部分贴紧所述升降销。

2.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述瓣状件为4个。

3.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述插入口的内部直径小于等于所述升降销的直径。

4.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述插入口的内部直径大于所述升降销的直径，所述瓣状件的内侧包括多个突起。

5.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，多个所述瓣状件通过槽分隔开。

6.如权利要求5所述的升降销固定器，其特征在于，所述主体的侧壁设置有多个缓冲孔，所述缓冲孔位于所述槽的底部。

7.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述插入口向主体内部延伸的长度大于等于所述升降销长度的三分之一。

8.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，还包括第二紧箍件，位于所述第一紧箍件的下方。

9.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述瓣状件的外侧设置有凹痕，用于固定所述第一紧箍件的位置。

10.如权利要求8所述的升降销固定器，其特征在于，所述第一紧箍件和第二紧箍件为弹性材料。

11.如权利要求10所述的升降销固定器，其特征在于，所述第一紧箍件和第二紧箍件为氟橡胶或全氟橡胶。

12.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述主体为圆柱状结构。

13.如权利要求1所述的升降销固定器，其特征在于，所述插入口的内部设置有内螺纹，所述升降销的外侧壁设置有外螺纹。

14.一种升降销组件，其特征在于，包括：

底座；

多个如权利要求1-13任一项所述的升降销固定器，所述升降销固定器与底座连接；

多个升降销，所述升降销与所述升降销固定器对应，且升降销的底部部分插入升降销固定器内。

15.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：

反应腔；

位于反应腔内的静电夹盘，所述静电夹盘内包括多个套管；

如权利要求14所述的升降销组件，所述升降销可以在所述套管中上下活动。