[实用新型]一种单晶硅生产用单晶硅除尘器有效

专利信息
申请号: 202120303954.5 申请日: 2021-02-03
公开(公告)号: CN214597857U 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 赵亮;姜君 申请(专利权)人: 锦州佑华硅材料有限公司
主分类号: B01D46/10 分类号: B01D46/10;B01D46/00
代理公司: 沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254 代理人: 杨群;郭悦
地址: 121000 辽宁省锦州市太和区*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 生产 除尘器
【说明书】:

实用新型公开了一种单晶硅生产用单晶硅除尘器,包括箱体,所述箱体底部四周壁体上设有滚轮,所述箱体前端下方壁体中设有集尘抽屉,所述箱体前端在位于集尘抽屉上方的壁体上还设有维护门,所述箱体一侧壁体上设有进气口,所述箱体前端上方一侧壁体上还设有控制器,所述箱体背部下方壁体上设有散热机构,所述散热机构包括固定管、顶板、固定杆与旋转环,所述固定管一侧壁体固定安装在箱体背部壁体上,并且所述固定管内腔体与箱体内腔体连通。本实用新型所述的一种单晶硅生产用单晶硅除尘器,涉及除尘器设备技术领域,通过可拆装的顶板、固定杆的设置,便于对通气孔进行除尘,另外,通过旋转环的设置,便于将顶板从固定管上进行拆装维护。

技术领域

本实用新型涉及除尘器设备技术领域,特别涉及一种单晶硅生产用单晶硅除尘器。

背景技术

半导体的导电能力介于导体和绝缘体之间,硅、锗、砷化镓和硫化镉都是半导体材料,半导体材料的电阻率随着温度升高和辐射强度的增大而减小,在半导体中加入微量的杂质,对其导电性有决定性影响,这是半导体材料的重要特性。硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅,而在单晶硅的生产制造过程中会产生一定的灰尘,一般都会通过各种类型的除尘机进行除尘,但是,大部分除尘机上的散热口在长时间的使用后都会被灰尘堆积,较难清理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅生产用单晶硅除尘器,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种单晶硅生产用单晶硅除尘器,包括箱体,所述箱体底部四周壁体上设有滚轮,所述箱体前端下方壁体中设有集尘抽屉,所述箱体前端在位于集尘抽屉上方的壁体上还设有维护门,所述箱体一侧壁体上设有进气口,所述箱体前端上方一侧壁体上还设有控制器,所述箱体背部下方壁体上设有散热机构,所述散热机构包括固定管、顶板、固定杆与旋转环。

优选的,所述固定管一侧壁体固定安装在箱体背部壁体上,并且所述固定管内腔体与箱体内腔体连通,所述固定管另一侧壁体上还开设有若干个通气孔。

优选的,所述固定管底部壁体中还开设有集尘槽,所述固定管在位于集尘槽内底部壁体中开设有出尘口,所述固定管底部两侧壁体上还分别固定安装有固定条,两个所述固定条之间设有弧形密封块,所述弧形密封块两侧壁体分别穿插安装在对应的固定条一侧壁体的滑槽中,所述弧形密封块底部壁体上还固定安装有把手。

优选的,所述顶板一侧壁体上固定安装有若干个顶块,所述顶块四周壁体中分别开设有固定孔,所述固定杆穿插安装在对应的固定孔中。

优选的,所述固定杆一侧外壁上固定安装有转块,并且所述固定杆通过转块穿插安装在固定孔内,所述固定杆一侧外壁上还设有螺纹,并且所述固定杆通过一侧的螺纹旋入安装在固定管一侧对应的螺孔中,所述固定杆另一侧壁体上还固定安装有齿轮,所述固定杆上还套装有压缩弹簧,并且所述压缩弹簧位于固定管与顶板之间的固定杆上。

优选的,所述旋转环内壁中开设有螺槽,并且所述旋转环通过螺槽与四个齿轮啮合连接,所述旋转环一侧壁体之间还固定安装有固定架。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:

本实用新型所述的一种单晶硅生产用单晶硅除尘器,通过可拆装的顶板、固定杆的设置,便于对通气孔进行除尘,另外,通过旋转环的设置,便于将顶板从固定管上进行拆装维护。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构示意图;

图2为本实用新型的主体结构侧视图;

图3为本实用新型的散热机构主体结构拆分图;

图4为本实用新型的固定杆结构示意图。

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