[实用新型]一种用于化学机械抛光的柔性膜、承载头及抛光设备

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光的柔性膜，其特征在于，包括：

用于接收基板的底板部；

圆环状的边缘侧壁，该边缘侧壁具有沿所述底板部的周缘向上延伸形成的直立部、从直立部上端朝上向内折弯延伸后朝上向外折弯延伸形成的弯折部、从弯折部向上拱起的凸起部和从所述凸起部下端向内侧水平延伸形成的第一水平延伸部；

以及与所述边缘侧壁同心相邻设置的内侧壁，所述内侧壁在其顶端具有弯向内侧水平延伸的第二水平延伸部；

所述弯折部与所述凸起部之间设置有过渡部，所述过渡部向外延伸不超过所述直立部的圆周外表面；所述凸起部从所述过渡部的上端竖直向上延伸、经圆弧过渡后再竖直向下延伸，所述凸起部沿水平方向的宽度小于所述第一水平延伸部的长度。

2.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述弯折部向内延伸的水平投影超过所述凸起部竖直向下延伸的外表面。

3.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述凸起部的高度小于等于所述弯折部竖直方向的高度。

4.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述弯折部的壁厚小于等于所述凸起部的壁厚，所述过渡部的壁厚大于所述弯折部的壁厚且小于所述凸起部的壁厚。

5.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，还包括从所述边缘侧壁的内表面朝径向内侧水平延伸的间隔板，所述间隔板的壁厚小于等于所述底板部的壁厚。

6.如权利要求5所述的柔性膜，其特征在于，所述间隔板的壁厚是所述底板部壁厚的1/3-4/5。

7.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述弯折部包括从直立部上端朝上向内折弯延伸的第一弯折部和自所述第一弯折部朝上向外折弯延伸的第二弯折部，所述第一弯折部与水平面的夹角不等于所述第二弯折部与水平面的夹角。

8.如权利要求7所述的柔性膜，其特征在于，所述第一弯折部与所述第二弯折部的夹角大于20°。

9.一种承载头，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的用于化学机械抛光的柔性膜。

10.一种抛光设备，其特征在于，包括权利要求9所述的承载头。