[实用新型]一种TCU底层回风系统

说明书

本实用新型公开了一种TCU底层回风系统，包括TCU本体、给风模块、排管、回风口、三通接头和回风管；所述给风模块设置在所述TCU本体内的上方处；所述回风口在所述TCU本体的两个侧面靠近底部处分别设置有至少一个，且所述TCU本体的两个侧面上设置的所述回风口的数量相同且位置相对应；每一个所述回风口分别与所述排管的一端连通，其中两根所述排管的另一端与所述三通接头的其中两端连通，所述三通接头的另外一端与所述回风管连通。本实用新型使TCU从原先的只能单侧回风升级为两侧都能进行回风，保证了TCU全面均匀出风，有效控制扬尘，避免因气流紊乱造成产品的异常，影响产品产出良率。

技术领域

本实用新型涉及TCU制造工艺领域，特别涉及一种TCU底层回风系统。

背景技术

TCU(Temperature Control Unit，基板温控机构)的原厂设计构造存在缺陷，其回风口的数量仅有单侧两个，分布不合理，且另一侧与中间部位回风气流不稳定，无阀门和表头进行调节和监控，易引起TCU内的气流紊乱，控制扬尘效果不佳，进而造成产品的缺陷及不足。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种TCU底层回风系统，保证TCU全面均匀出风，有效控制扬尘，避免因气流紊乱造成产品的异常，影响产品产出良率。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种TCU底层回风系统，包括TCU本体、给风模块、排管、回风口、三通接头和回风管；

所述给风模块设置在所述TCU本体内的上方处；

所述回风口在所述TCU本体的两个侧面靠近底部处分别设置有至少一个，且所述TCU本体的两个侧面上设置的所述回风口的数量相同且位置相对应；

每一个所述回风口分别与所述排管的一端连通，其中两根所述排管的另一端与所述三通接头的其中两端连通，所述三通接头的另外一端与所述回风管连通。

进一步地，所述回风口在所述TCU本体的两个侧面靠近底部处分别设置有两个。

进一步地，所述三通接头和所述回风管位于所述TCU本体的同侧；

位于所述TCU本体上与所述回风管不同侧的所述回风口通过沿着所述TCU本体的上方布置的所述排管与所述三通接头连通。

进一步地，同一个所述三通接头上所连接的两个所述排管的另外一端分别与所述TCU本体的两个侧面上的其中一个所述回风口连通。

进一步地，还包括节流阀和表头；

所述节流阀和所述表头设置在所述三通接头与所述排管连通处。

进一步地，所述TCU本体还包括升降基板载台和驱动伺服马达；

所述驱动伺服马达设置在所述TCU本体的底部中间；

所述升降基板载台设置在所述TCU本体内且位于所述驱动伺服马达上方。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供一种TCU底层回风系统，通过在原有的TCU本体的排管与回风管连接处增加三通接头，将原有的回风管分为两路并通过在TCU本体的另一侧也新增有数量相同且位置对应的回风口，使TCU从原先的只能单侧回风升级为两侧都能进行回风，保证了TCU全面均匀出风，有效控制扬尘，避免因气流紊乱造成产品的异常，影响产品产出良率。

附图说明

图1为本实用新型的一种TCU底层回风系统的结构图；

图2为未改造前的一种TCU底层回风系统的结构图。

标号说明：