[实用新型]一种半导体生产用石英初步清洗设备有效

专利信息
申请号: 202120318208.3 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN214555784U 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 薄耀辉 申请(专利权)人: 湖州奥辉石英科技有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B1/04;F26B21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 313000 浙江省湖州市南浔区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 生产 石英 初步 清洗 设备
【权利要求书】:

1.一种半导体生产用石英初步清洗设备,包括外壳(1)、支撑板(2)、固定板(3)、支撑架(4)、顶板(5)、移动仓(6)以及调节装置(7),其特征在于:所述外壳(1)的底部设有支撑板(2),所述支撑板(2)设有两个,且支撑板(2)固定连接于外壳(1),所述固定板(3)设于两个支撑板(2)之间,且固定板(3)的两端固定连接于支撑板(2),所述支撑架(4)的底部固定连接于外壳(1)的顶部,所述顶板(5)的底部固定连接于支撑架(4)的顶部,所述移动仓(6)设于外壳(1)的内腔中,且移动仓(6)通过调节装置(7)活动连接于外壳(1)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于:所述顶板(5)的内腔底部开设有若干个通孔,且顶板(5)的内腔中设有若干个风扇(8),且风扇(8)的顶部固定连接于顶板(5)的内腔顶部,风扇(8)的下方设有电阻丝(9),电阻丝(9)与顶板(5)内腔固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于:所述固定板(3)上固定连接有两个第一电机(10),第一电机(10)的输出端固定连接有连接杆(11),且连接杆(11)的顶部通过外壳(1)内腔底部及移动仓(6)内腔底部开设的通孔设于移动仓(6)内腔中,连接杆(11)的顶部通过固定螺栓(13)活动连接有搅拌架(12)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于:所述调节装置(7)包括第二电机(14)、转动杆(15)、固定块(16)以及限位杆(17),所述第二电机(14)的底部固定连接于固定板(3),所述转动杆(15)的底部固定连接于第二电机(14)的输出端,转动杆(15)的顶部通过外壳(1)及移动仓(6)开设的通孔设于移动仓(6)内腔中,且转动杆(15)上设有螺纹,转动杆(15)的螺纹与移动仓(6)内腔底部通孔侧壁的螺纹相啮合,所述固定块(16)固定连接于移动仓(6)外表面,且固定块(16)的一端设于外壳(1)内腔侧壁开设的凹槽内,所述限位杆(17)的两端分别固定连接于外壳(1)内腔侧壁凹槽的顶部及底部,且限位杆(17)穿插于固定块(16)开设的通孔内。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于:所述移动仓(6)内腔底部开设有若干个通水孔(18)。

6.根据权利要求3所述的一种半导体生产用石英初步清洗设备,其特征在于:所述搅拌架(12)包括支撑杆(19)、搅拌杆(20)以及毛刷(21),所述支撑杆(19)的底部通过固定螺栓(13)活动连接于连接杆(11),所述搅拌杆(20)的一端固定连接于支撑杆(19),所述毛刷(21)固定连接于搅拌杆(20)。

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