[实用新型]一种半导体晶圆石英舟

权利要求书

1.一种半导体晶圆石英舟，包括底板(1)和半导体晶圆石英舟本体，其特征在于：所述底板(1)的顶面开设有两个对称分布的滑槽(4)，滑槽(4)内均滑动连接有两个滑块(9)，相邻的两个滑块(9)的顶面均固定连接有与底板(1)顶面滑动连接的安装板(10)，安装板(10)的顶面设置有定位机构和抵紧机构，抵紧机构上放置有半导体晶圆石英舟本体，底板(1)的顶面两端均固定连接有对称分布的伸缩杆(12)，且伸缩杆(12)的顶面固定连接有顶板(15)，顶板(15)上开设与有多个均匀分布的螺纹孔，螺纹孔内均螺纹连接有相匹配设置的螺杆(7)，且螺杆(7)的底端均固定连接有海绵块(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆石英舟，其特征在于：所述定位机构包括：固定框(2)、插销(3)和安装孔(5)，安装板(10)的顶面的两侧均固定有固定框(2)，固定框(2)内滑动连接有垂直贯穿固定框(2)、安装板(10)和滑块(9)的插销(3)，滑槽(4)的内底面开设有多个均匀分布的安装孔(5)，且安装孔(5)的直径略大于插销(3)的直径。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆石英舟，其特征在于：所述抵紧机构包括：固定块(13)、转动电机(11)、载物板(8)、转动轴(17)和抵板(14)，安装板(10)的顶面均固定连接有固定块(13)，其中一块固定块(13)的侧面固定安装有转动电机(11)，转动电机(11)的输出端通过联轴器贯穿固定块(13)并与转动轴(17)的一端固定连接，转动轴(17)的另一端则固定连接有抵板(14)，且抵板(14)侧面的底端固定连接有载物板(8)，另一块固定块(13)的侧面通过轴承与另一根转动轴(17)的一端转动连接，转动轴(17)的另一端则固定连接有另外的抵板(14)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆石英舟，其特征在于：所述抵板(14)和载物板(8)上均固定连接有橡胶垫(19)。

5.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆石英舟，其特征在于：所述插销(3)上固定连接有限位环(18)，且限位环(18)的直径略大于固定框(2)开口的直径。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆石英舟，其特征在于：所述螺杆(7)顶部螺纹连接有螺母(16)，且螺母(16)设置于顶板(15)顶面。