[实用新型]一种YCOB晶体生长用生长装置有效
申请号: | 202120318679.4 | 申请日: | 2021-02-04 |
公开(公告)号: | CN214694462U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 王庆国;吴锋;徐军;唐慧丽;罗平;薛艳艳 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/22 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 蒋亮珠 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ycob 晶体生长 生长 装置 | ||
1.一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,该装置包括:
坩埚(6),用于盛放晶体生长用的原料熔体(8);
晶体生长模具(7),用于引导原料熔体(8)流向;
籽晶杆(1),用于引导晶体生长;
所述的晶体生长模具(7)置于坩埚(6)内;所述的籽晶杆(1)可上下移动地设置在生长模具(7)上方,籽晶杆(1)下部设有用于牵引晶体生长的籽晶(4),所述的坩埚(6)外套设有使坩埚(6)感应加热的感应线圈(12)。
2.根据权利要求1所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的晶体生长模具(7)的材质为铱金,由多片铱金板组合焊接而成,并用铱金条隔离,中间缝隙对应晶体生长的模具缝,顶端呈V形开口。
3.根据权利要求2所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的模具缝的缝宽为0.3-0.5mm,所述的开口的角度为100-150°。
4.根据权利要求1所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的坩埚(6)和籽晶杆(1)均为铱金材质。
5.根据权利要求1所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,该装置还包括保温容器,用于避免晶体生长过程中散热;所述的坩埚(6)置于保温容器内。
6.根据权利要求5所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的保温容器与坩埚(6)之间堆设有进一步保温用的氧化锆球(10)。
7.根据权利要求5所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的保温容器的材料均为氧化锆陶瓷。
8.根据权利要求1所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的坩埚(6)上设有坩埚盖(5)。
9.根据权利要求5所述的一种YCOB晶体生长用生长装置,其特征在于,所述的保温容器包括相互拼接的保温上盖板(2)、上保温罩(3)、第一侧保温筒(9)、第二侧保温筒(11)和底部保温砖(13),所述的保温上盖板(2)位于坩埚(6)上方,所述的第一侧保温筒(9)和第二侧保温筒(11)位于坩埚(6)侧方,所述的底部保温砖(13)位于坩埚(6)底部。
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