[实用新型]一种改善真空计防污染装置有效
申请号: | 202120324830.5 | 申请日: | 2021-02-04 |
公开(公告)号: | CN214736044U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 傅强;张宁;张冬根 | 申请(专利权)人: | 上海帝越电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385 | 代理人: | 苏杰 |
地址: | 200000 上海市奉贤*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 真空计 污染 装置 | ||
1.一种改善真空计防污染装置,其特征在于,包括NW90°弯头(8),所述NW90°弯头(8)的转换角度为90度,所述NW90°弯头(8)下方设有真空腔室,所述真空腔室上方设有真空腔室NW-VCR转换接头(1),所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)顶端与所述NW90°弯头(8)之间设有滤网支架(2),所述NW90°弯头(8)右端设有真空计,所述真空计与所述NW90°弯头(8)之间设有真空计NW-VCR转换接头(9),所述真空计NW-VCR转换接头(9)与所述NW90°弯头(8)之间设有滤网支架(2)。
2.根据权利要求1所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)底端与所述真空腔室连接;所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)上设有紧定螺母(101),所述紧定螺母(101)与所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)之间可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述真空计NW-VCR转换接头(9)与所述真空计连接;所述真空计NW-VCR转换接头(9)上设有套环(10),所述套环(10)与所述真空计NW-VCR转换接头(9)之间可拆卸连接,所述套环(10)表面设有花纹。
4.根据权利要求2或3所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述滤网支架(2)、真空腔室NW-VCR转换接头(1)和NW90°弯头(8)之间通过NW卡箍(3)相互固定;所述滤网支架(2)、真空计NW-VCR转换接头(9)和NW90°弯头(8)之间通过NW卡箍(3)相互固定。
5.根据权利要求4所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述NW卡箍(3)包括两个夹具,两个夹具之间设有转动板(4),所述夹具与所述转动板(4)之间转动连接,所述夹具远离转动板(4)的一端设有传动座(5),所述传动座(5)与所述夹具之间为一体式结构,所述传动座(5)之间设有螺纹轴(6),所述螺纹轴(6)与所述传动座(5)之间螺纹连接,所述螺纹轴(6)上方设有调板(7),所述调板(7)与所述螺纹轴(6)之间为一体式结构。
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