[实用新型]一种改善真空计防污染装置有效

专利信息
申请号: 202120324830.5 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN214736044U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 傅强;张宁;张冬根 申请(专利权)人: 上海帝越电子科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385 代理人: 苏杰
地址: 200000 上海市奉贤*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 改善 真空计 污染 装置
【权利要求书】:

1.一种改善真空计防污染装置,其特征在于,包括NW90°弯头(8),所述NW90°弯头(8)的转换角度为90度,所述NW90°弯头(8)下方设有真空腔室,所述真空腔室上方设有真空腔室NW-VCR转换接头(1),所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)顶端与所述NW90°弯头(8)之间设有滤网支架(2),所述NW90°弯头(8)右端设有真空计,所述真空计与所述NW90°弯头(8)之间设有真空计NW-VCR转换接头(9),所述真空计NW-VCR转换接头(9)与所述NW90°弯头(8)之间设有滤网支架(2)。

2.根据权利要求1所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)底端与所述真空腔室连接;所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)上设有紧定螺母(101),所述紧定螺母(101)与所述真空腔室NW-VCR转换接头(1)之间可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述真空计NW-VCR转换接头(9)与所述真空计连接;所述真空计NW-VCR转换接头(9)上设有套环(10),所述套环(10)与所述真空计NW-VCR转换接头(9)之间可拆卸连接,所述套环(10)表面设有花纹。

4.根据权利要求2或3所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述滤网支架(2)、真空腔室NW-VCR转换接头(1)和NW90°弯头(8)之间通过NW卡箍(3)相互固定;所述滤网支架(2)、真空计NW-VCR转换接头(9)和NW90°弯头(8)之间通过NW卡箍(3)相互固定。

5.根据权利要求4所述的改善真空计防污染装置,其特征在于,所述NW卡箍(3)包括两个夹具,两个夹具之间设有转动板(4),所述夹具与所述转动板(4)之间转动连接,所述夹具远离转动板(4)的一端设有传动座(5),所述传动座(5)与所述夹具之间为一体式结构,所述传动座(5)之间设有螺纹轴(6),所述螺纹轴(6)与所述传动座(5)之间螺纹连接,所述螺纹轴(6)上方设有调板(7),所述调板(7)与所述螺纹轴(6)之间为一体式结构。

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