[实用新型]固晶设备有效

专利信息
申请号: 202120327584.9 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN214254356U 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 黄岗 申请(专利权)人: 深圳新益昌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 徐汉华
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 设备
【权利要求书】:

1.固晶设备,其特征在于,包括:

机架(1);

支架上料机构(2),安装于所述机架(1)上,用于供应支架;

支架移载机构(3),安装于所述机架(1)上,用于承载所述支架上料机构(2)输送来的支架以将该支架移送至固晶位;

晶环上料机构(4),安装于所述机架(1)上,用于供应晶环;

晶环旋转机构(5),安装于所述机架(1)上,用于承载并驱动所述晶环旋转;

顶晶机构(6),安装于所述机架(1)上,用于将所述晶环旋转机构(5)上的晶环之晶片顶出至供晶位;

晶环移载机构(7),安装于所述机架(1)上,用于将所述晶环上料机构(4)上的晶环移送至所述晶环旋转机构(5)上;

固晶摆臂机构(8),安装于所述机架(1)上,用于将所述供晶位处的晶环移送至所述固晶位实现固晶;

其中,所述机架(1)的中部设有供所述支架移载机构(3)移动的通道(10),所述晶环上料机构(4)、所述晶环旋转机构(5)、所述顶晶机构(6)、所述晶环移载机构(7)和所述固晶摆臂机构(8)组合形成晶环供料单元,所述支架移载机构(3)的两侧分别设置有所述晶环供料单元;一个所述支架移载机构(3)和两个所述晶环供料单元组合形成固晶集成单元,所述机架(1)上沿所述通道(10)的出料方向依次设有多个所述固晶集成单元。

2.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于:所述固晶设备还包括用于将前一个所述支架移载机构(3)上的支架移送至后一个所述支架移载机构(3)上的支架搬运机构(9);所述支架搬运机构(9)安装于所述机架(1)上并设于所述通道(10)中,相邻两个所述固晶集成单元之间设有所述支架搬运机构(9)。

3.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于:各所述支架搬运机构(9)包括安装于所述机架(1)上的搬运座(91),分别安装于所述搬运座(91)上的主动轮(93)与从动轮(92),连接所述主动轮(93)与所述从动轮(92)的传送带(94)和用于驱动所述主动轮(93)转动的搬运电机(95);所述搬运电机(95)安装于所述搬运座(91)上,所述搬运电机(95)与所述主动轮(93)相连。

4.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于:各所述支架上料机构(2)包括上料座(21)、用于将支架移送至所述支架移载机构(3)上的支架移送单元(22)和用于驱动所述上料座(21)升降的上料升降单元(23);所述支架移送单元(22)安装于所述上料座(21)上,所述上料升降单元(23)安装于所述机架(1)上,所述上料升降单元(23)与所述上料座(21)相连。

5.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于:各所述支架移载机构(3)包括用于支撑支架的移载传送平台(31)、用于驱动所述移载传送平台(31)横向移动的移载横移单元(32)和用于驱动所述移载传送平台(31)纵向移动的移载纵移单元(33);所述移载纵移单元(33)安装于所述机架(1)上,所述移载横移单元(32)安装于所述移载纵移单元(33)上,所述移载传送平台(31)安装于所述移载横移单元(32)上。

6.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备,其特征在于:各所述晶环上料机构(4)包括用于存储晶环的晶环存储框(41)和用于驱动所述晶环存储框(41)升降的晶环升降单元(42);所述晶环升降单元(42)安装于所述机架(1)上,所述晶环升降单元(42)与所述晶环存储框(41)相连。

7.如权利要求1-5任一项所述的固晶设备,其特征在于:各所述晶环旋转机构(5)包括用于支撑并驱动晶环旋转的晶环旋转平台(51)、用于驱动所述晶环旋转平台(51)横向移动的晶环横移单元(52)和用于驱动所述晶环旋转平台(51)纵向移动的晶环纵移单元(53);所述晶环纵移单元(53)安装于所述机架(1)上,所述晶环横移单元(52)安装于所述晶环纵移单元(53)上,所述晶环旋转平台(51)安装于所述晶环横移单元(52)上,所述顶晶机构(6)设于所述晶环旋转平台(51)的下方。

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