[实用新型]固晶机有效
申请号: | 202120327585.3 | 申请日: | 2021-02-04 |
公开(公告)号: | CN214254357U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 胡新平 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶机 | ||
本申请提供了一种固晶机,包括机架、支架供料组件、支架移载组件、晶环供料组件、晶环旋转组件、顶晶组件、晶环移载组件、吸嘴、固晶摆臂组件和吸嘴收供组件。本申请通过支架供料组件可将支架供应至支架移载组件上,通过晶环移载组件可将晶环供料组件上的晶环移送至晶环移载组件上,并将晶环旋转组件上使用后的晶环移除,通过顶晶组件可将晶环上的晶片顶出至供晶位,通过吸嘴及固晶摆臂组件可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件上,完成晶片与支架的固晶作业。本申请通过晶环移载组件可实现晶环上料与下料的同步作业,减少了晶环上下料的等待时长,有助于提高固晶效率。而且,通过吸嘴收供组件可实现对吸嘴的自动更换作业,省时省力,效率高。
技术领域
本申请属于固晶技术领域,更具体地说,是涉及一种固晶机。
背景技术
在固晶设备中,通常由吸嘴将晶片从供晶位移送至固晶位,从而实现晶片与支架的固晶作业。对于不同的晶片,需要使用不同种类的吸嘴进行吸附。然而,目前通常是人工手动更换吸嘴,效率低。而且,用于将盛装有晶片的晶环放置于供晶位,以及将使用后的晶环从供晶位移除的作业均是由同一机械臂完成,这就导致晶环的上下料速率慢,进而影响固晶效率。
实用新型内容
本申请实施例的目的在于提供一种固晶机,以解决相关技术中存在的:人工手动更换吸嘴的效率低,且晶环的上下料速率慢,影响固晶效率的问题。
为实现上述目的,本申请实施例采用的技术方案是:
提供一种固晶机,包括:
机架;
支架供料组件,安装于所述机架上,用于供应支架;
支架移载组件,安装于所述机架上,用于将所述支架移送至固晶位;
晶环供料组件,安装于所述机架上,用于供应晶环;
晶环旋转组件,安装于所述机架上,用于支撑并驱动所述晶环转动;
顶晶组件,安装于所述机架上并位于所述晶环旋转组件的下方,用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位;
晶环移载组件,安装于所述机架上,用于将所述晶环供料组件上的晶环移送至所述晶环旋转组件的同时,将所述晶环旋转组件上使用后的晶环移除;
吸嘴,用于吸取所述晶片;
固晶摆臂组件,安装于所述机架上并与所述吸嘴相连,用于驱动所述吸嘴往复经过所述供晶位和所述固晶位;
吸嘴收供组件,安装于所述机架上,用于收取所述固晶摆臂组件上的吸嘴并向该固晶摆臂组件供应吸嘴。
本申请实施例中的上述一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果之一:本申请通过支架供料组件可将支架供应至支架移载组件上,通过晶环移载组件可将晶环供料组件上的晶环移送至晶环移载组件上,并将晶环旋转组件上使用后的晶环移除,通过顶晶组件可将晶环上的晶片顶出至供晶位,通过吸嘴及固晶摆臂组件可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件上,完成晶片与支架的固晶作业。本申请通过晶环移载组件可实现晶环上料与下料的同步作业,减少了晶环上下料的等待时长,有助于提高固晶效率。而且,通过吸嘴收供组件可实现对吸嘴的自动更换作业,省时省力,效率高。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的固晶机的结构示意图;
图2为本申请实施例提供的收料组件的结构示意图;
图3为本申请实施例提供的支架供料组件的结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造