[实用新型]一种晶圆取料夹头

权利要求书

1.一种晶圆取料夹头，其包括固定夹臂，其特征在于：

所述固定夹臂包括臂本体、设置在所述臂本体两端的第一支撑座和第二支撑座，其中所述第一支撑座和所述第二支撑座形成晶圆放置区，且所述晶圆放置区位于所述臂本体的上方；

所述的晶圆取料夹头还包括相对所述第一支撑座或第二支撑座运动的活动夹臂，放置在所述晶圆放置区的晶圆随着所述活动夹臂的运动，自侧边夹持在所述活动夹臂与所述第一支撑座之间或所述活动夹臂与所述第二支撑座之间。

2.根据权利要求1所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述的第一支撑座上形成有向所述第二支撑座方向向下倾斜的第一斜面；所述第二支撑座上形成有向所述第一支撑座方向向下倾斜的第二斜面，其中所述第一斜面和所述第二斜面之间构成所述晶圆放置区。

3.根据权利要求2所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述第一斜面与所述臂本体的夹角为A1，所述第二斜面与所述臂本体的夹角为A2，A1=A2。

4.根据权利要求3所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述第一斜面与所述第二斜面分别自下端竖直向下延伸，并形成与所述晶圆侧边相切的圆弧面。

5.根据权利要求2所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述第一支撑座自所述第一斜面的顶端形成有竖直向上延伸的定挡块，且所述定挡块靠近所述第二支撑座一侧形成有与所述晶圆侧边相切的圆弧面。

6.根据权利要求5所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述的臂本体呈叉形，所述第一支撑座有两个，且分别设置在叉形开口的两端部上；所述第二支撑座有两个，且并排设置在叉形封闭端部的两侧。

7.根据权利要求6所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述活动夹臂包括设置在所述第二支撑座上方的移动臂、连接在所述移动臂上的动挡块，所述晶圆自侧边夹持在所述动挡块与所述定挡块之间。

8.根据权利要求7所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述移动臂呈长条状并沿两个所述第二支撑座排列方向水平设置，且所述移动臂自两端部分别形成有向所述第一支撑座方向水平延伸的延伸部，所述动挡块有两个并分别连接在两个所述延伸部上。

9.根据权利要求8所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述动挡块靠近所述第一支撑座一侧形成有与所述晶圆侧边相切的圆弧面。

10.根据权利要求1所述的晶圆取料夹头，其特征在于：所述晶圆取料夹头还包括驱动部件，所述驱动部件包括传感器、连接在所述活动夹臂上的驱动臂，所述驱动臂驱动所述活动夹臂沿靠近或远离所述第一支撑座方向移动设置。