[实用新型]通过电子束蒸发在部件上沉积保护涂层的设备

权利要求书

1.一种通过电子束蒸发在部件(1)上沉积保护涂层的设备，所述设备包括：真空室(2)，其内部具有安装在刚性悬架(3)上的半圆柱形热罩(4)；至少一个水冷干锅(5)，其包含蒸发材料(6)；加热器(7)，其具有受热物质(8)，用于辐射加热部件(1)；以及电子枪(9，10)，其用于加热受热物质(8)和蒸发材料(6)，其中热罩(4)、包含蒸发材料(6)的水冷干锅(5)和具有受热物质(8)的加热器(7)构成真空室(2)内的涂层沉积区(11)，其中热罩(4)罩住涂层沉积区(11)的部件(1)所在的部分，所述设备的特征在于，在真空室(2)内包括固定在运动元件(13)上的可移动挡板(12)，通过外部驱动使所述运动元件致动，可移动挡板(12)能够从涂层沉积区(11)外的被动位置移动至涂层沉积区(11)内的部件(1)与加热器(7)的表面及蒸发材料(6)的表面之间的主动位置，以屏蔽部件(1)的和热罩(4)的内表面，使其不受加热器(7)的表面和蒸发材料(6)的表面的影响。

2.根据权利要求1所述的设备，特征在于运动元件(13)被制成为具有往复运动能力的水平杆。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述运动元件(13)被制成为具有旋转能力的垂直轴。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述可移动挡板由铜制成，并具有内部水冷。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述可移动挡板由片状高温材料制成。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括用于向所述真空室供应氧的装置。