[实用新型]一种晶圆盒

权利要求书

1.一种晶圆盒，包括用于立置晶圆片的盒体，该盒体上下贯通，且该盒体具有相对的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁内侧面设有多个第一置片槽，第二侧壁内侧面设有多个第二置片槽，第一置片槽与第二置片槽一一对应，以插置晶圆片；其特征在于：盒体上设置立式挡板，该挡板位于第一侧壁和第二侧壁之间，各第一置片槽、各第二置片槽位于该挡板的同一侧；该挡板顶端高于置于盒体内的晶圆片的顶端。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述挡板设有通孔。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述挡板顶端呈上凸的弧形。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述盒体在与所述挡板相对的一侧具有连接所述第一侧壁和第二侧壁的连接部，该连接部为横梁或第三侧壁，该第三侧壁顶端低于所述挡板顶端。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述挡板与所述盒体一体成型。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述挡板可装拆地连接于所述盒体。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒，其特征在于：所述盒体在所述挡板所在的一侧具有连接所述第一侧壁和第二侧壁的第四侧壁，该第四侧壁设有上端开口的缺口槽，所述挡板可装拆地连接于该缺口槽处。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒，其特征在于：所述缺口槽的两槽壁和/或底壁设有插槽，所述挡板两侧和/或底端设有插条，插条插入插槽。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述第一侧壁底部和第二侧壁底部分别向内倾斜，使所述盒体下端开口呈缩口状，所述各第一置片槽底部分别延伸至所述第一侧壁底部，所述各第二置片槽底部分别延伸至所述第二侧壁底部。

10.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：所述第一侧壁顶端设有第一外凸缘，所述第二侧壁顶端设有第二外凸缘；所述第一侧壁底端设有第一支撑条，所述第二侧壁底端设有第二支撑条。