[实用新型]一种弹力测试系统有效
申请号: | 202120339623.7 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN214991798U | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 蔡喜斌;丁振勇;沈雄飞;薛春天;王大洪;阮志明;姚峰;华秀菊 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/54;C23C14/50 |
代理公司: | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人: | 崔艳峥 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 弹力 测试 系统 | ||
一种弹力测试系统,包括弹力测试计、弹力计位置调节系统和治具系统,所述弹力计位置调节系统用以固定所述弹力测试计,并调节所述弹力测试计竖直方向的高度,所述治具系统包括夹持部,所述夹持部用于夹持产品,所述弹力测试系统测量所述夹持部的形变压力。通过测量夹持部在达到夹持工作状态时,即夹持部形变达到预设量时所反馈的弹力,将该弹力与预设弹力范围进行比较,从而可实现对治具系统对产品压力的精确管控,确保压力不超标,保证产品的高良率。
技术领域
本实用新型涉及镀膜治具的领域,特别涉及一种镀膜治具对夹持产品的压力测量系统。
背景技术
经过多年发展,PVD镀膜技术被广泛用于应用于电子、光学、机械、建筑、材料等领域,溅射镀膜和真空蒸发镀膜是最主流的两种PVD镀膜方式,尤其以物理蒸镀法(PhysicsVaporDeposition,PVD)为主。PVD镀膜(离子镀膜)技术,其具体原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,使基板材料表面沉积具有增透、反射、保护导电、导磁、绝缘、抗腐蚀、抗氧化、防辐射、装饰等特殊功能的薄膜材料的技术。物理蒸镀法的操作方法一般是镀膜治具依靠弹簧或者弹片将洗净后的待镀工件固定,送入镀膜机进行加热及抽真空。在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后,加热薄膜材料,以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态,并由蒸发源穿越空间,抵达待镀膜工件表面,在表面上沉积而逐渐形成薄膜。
然而,在镀膜治具将待镀膜工件固定时,存在弹簧或者弹片对产品的加持力度难以把握的问题。弹簧或者弹片的压力过大,则容易造成产品表面损伤;弹簧或者弹片压力过小,则容易造成产品的固定不牢,容易脱落。
发明内容
针对现有技术中的缺陷,本实用新型提出了一种弹力测试系统。所述弹力测试系统包括弹力测试计、弹力计位置调节系统和治具系统,所述弹力计位置调节系统用以固定所述弹力测试计,并调节所述弹力测试计竖直方向的高度,所述治具系统包括夹持部,所述夹持部用于夹持产品,所述弹力测试系统测量所述夹持部夹持产品后夹持部的形变弹力。
通过测量夹持部在达到夹持工作状态时,即夹持部形变达到预设量时所反馈的弹力,将该弹力与预设弹力范围进行比较,弹簧的弹力和对产品施加的压力是一对作用力和反作用力,大小相等,方向相反,从而可实现对治具系统对产品压力的精确管控,确保对产品表面施加的压力不超标,保证产品的高良率。
所述弹力测试计固定于所述弹力计位置调节系统并通过其调整所述弹力测试计在竖直方向的高度,便于测量的进行。
进一步地,所述夹持部为弹簧或弹片。
进一步地,所述弹力计位置调节系统包括升降装置、调节按钮装置及限位装置,所述升降装置与所述弹力测试计固定连接,所述升降装置与所述调节按钮装置活动连接,所述限位装置设置于所述调节按钮装置并用以限制所述升降位置可以下降的最低位置。
进一步地,所述治具系统包括镀膜治具及移动装置,所述镀膜治具与所述夹持部固定连接,所述移动装置包括固定滑块、活动滑块及手动调节螺杆,通过所述手动调节螺杆使所述活动滑块沿第一方向滑动与所述固定滑块相对运动,所述镀膜治具设置于所述活动滑块的上方,并且在第二方向滑动设置。
所述活动滑块沿所述固定滑块在第一方向滑动,所述镀膜治具设置于所述活动滑块的上方,并且在第二方向滑动设置,使得所述夹持部夹持的产品的位置在水平面的位置可调。
进一步地,所述移动装置还包括锁紧模块,用以固定所述固定滑块与所述活动滑块的相对位置。
进一步地,所述治具系统还包括垫块,所述垫块设置于所述活动滑块及镀膜治具的中间,用以调节所述镀膜治具的高度。
通过改变所述垫块的高度,使所述镀膜治具的竖直高度可调,处于所述弹力测试计可以测量的范围内。
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