[实用新型]一种测量激光器出光特性的设备

说明书

本实用新型公开了一种测量激光器出光特性的设备，包括测试台、位移组件、载具、全反射镜和出光特性测试模块；位移组件移动设置于测试台上，载具安装在位移组件上，用于收集待测激光器激光的出光特性测试模块位于测试台的上方，复数个全反射镜安装在载具上，载具具有复数个容纳待测激光器的槽位，反射待测激光器激光的全反射镜位于槽位的一侧。本实用新型可以实现不同方向出光的激光器，共用一套测试设备，实现兼容。

技术领域

本实用新型涉及激光器测试的技术领域，特指一种测量激光器出光特性的设备。

背景技术

半导体激光器的特性测试主要的参数指标是出光特性的测量，从中可以测试出很多重要的参数比如出光功率、斜效率和阈值电流等。目前半导体激光器按照出光方向相对于本身的结构分类主要有面（垂直）发射半导体激光器和边（水平）发射半导体激光器，由于两种半导体激光器的出光方向不一致，所以需要采用不同的测试设备对齐进行分别测试。没有合适的出光特性测试设备能同时满足面发射和边发射半导体激光器的兼容，因此，本发明人对此做进一步研究。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种测量激光器出光特性的设备，实现不同方向出光的激光器，共用一套测试设备，实现兼容。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术解决方案是：

一种测量激光器出光特性的设备，包括测试台、位移组件、载具、全反射镜和出光特性测试模块；位移组件移动设置于测试台上，载具安装在位移组件上，用于收集待测激光器激光的出光特性测试模块位于测试台的上方，复数个全反射镜安装在载具上，载具具有复数个容纳待测激光器的槽位，反射待测激光器激光的全反射镜位于槽位的一侧。

进一步，一个全反射镜对应一个槽位。

进一步，复数个槽位在横向和纵向上阵列式排布，一个全反射镜对应一排横向上的槽位或者对应一排纵向上的槽位。

进一步，还包括第一调节组件，用于调节待激光器角度和/或位置的第一调节组件安装在槽位中，第一调节组件与待测激光器连接。

进一步，还包括第二调节组件，用于调节全反射镜角度和/或位置的第二调节组件与全反射镜连接，第二调节组件安装在载具上。

进一步，出光特性测试模块为光探测器或者积分球。

进一步，全反射镜的反射面与载具水平方向的夹角为45°。

进一步，还包括移动机构，出光特性测试模块安装在移动机构上。

由于面发射半导体激光器和边发射半导体激光器的出光方向不一致，要求出光特性测试模块和载具的相对位置需要改变，本实用新型通过在载具上加入全反射镜，将边发射半导体激光器的出光方向偏转90°，保持和面发射半导体激光器的出光方向一致，从而无需更改其他设计或者采用额外的测试设备进行测试，可实现同时检测面发射半导体激光器和边发射半导体激光器的兼容性。

附图说明

图1是本实用新型边发射半导体激光器测试时的示意图；

图2是本实用新型面发射半导体激光器测试时的示意图；

图3是本实用新型全反射镜在载具上位置一的示意图；

图4是本实用新型全反射镜在载具上位置二的示意图。

标号说明

测试台1 位移组件2 载具3 槽位31

全反射镜4 出光特性测试模块5 待测激光器6。

具体实施方式