[实用新型]可选择性区域保护的镀膜装置

说明书

本实用新型涉及一种可选择性区域保护的镀膜装置，包括待切割样品、样品台、镀金机和遮盖板，所述待切割样品放置于所述样品台上，所述镀金机装设于所述样品台的上方并正对所述待切割样品，所述遮盖板可拆卸地安装于所述样品台上并遮挡于所述待切割样品和所述镀金机之间，所述遮盖板的尺寸与所述待切割样品的制样区域的尺寸相适配。本实用新型的镀膜装置，可在对样品进行镀膜的过程中对制样区域进行保护，既能够使样品的导电性得到提升，又不会使制样区域因镀膜而造成损伤。

技术领域

本实用新型涉及TEM样品制备领域，特别涉及一种用于TEM样品的可选择性区域保护的镀膜装置。

背景技术

透射电子显微镜样品需经过双束离子束加工后才可进行观测，为防止离子束对样品的切割表面形成损伤，尤其是对于表面导电性较弱且结构容易受到损伤的样品而言，需要增强样品的导电性，否则会造成后续制样时的偏差，现阶段增强样品表面导电性的方法通常是对样品表面进行镀膜处理。一般来说，镀膜方式大致分为两种：一是，将样品置入FIB内，利用机台本身的电子束或离子束进行沉积薄膜；二是利用外部仪器(如镀金机)对样品进行镀膜。然而，这两种镀膜方式同样会对样品本身结构造成损伤，因此，一种低损伤镀膜的镀膜装置具有重要意义。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种可选择性区域保护的镀膜装置，可在对样品进行镀膜的过程中对制样区域进行保护，既能够使样品的导电性得到提升，又不会使制样区域因镀膜而造成损伤。

本实用新型通过如下方案来实现：一种可选择性区域保护的镀膜装置，包括待切割样品、样品台、镀金机和遮盖板，所述待切割样品放置于所述样品台上，所述镀金机装设于所述样品台的上方并正对所述待切割样品，所述遮盖板可拆卸地安装于所述样品台上并遮挡于所述待切割样品和所述镀金机之间，所述遮盖板的尺寸与所述待切割样品的制样区域的尺寸相适配。

本实用新型通过遮盖板的设置，可在镀金机对样品进行镀膜的过程中对制样区域进行保护，既能够使待切割样品的导电性得到提升，达到保护样品结构不受损坏，提高制样效率，又不会使制样区域因镀膜而造成损伤。另外，通过遮盖板的可拆卸安装方式，使得该镀膜装置可以适用于对多种规格待切割样品进行选择性区域保护，通用性更强，且便于遮盖板的更换和周转使用。

本实用新型可选择性区域保护的镀膜装置的进一步改进在于，所述遮盖板包括遮盖部和固定于所述遮盖部两侧的连接部，所述连接部与所述样品台连接，所述遮盖部在所述遮盖板安装于所述样品台上时对位于所述制样区域。

本实用新型可选择性区域保护的镀膜装置的进一步改进在于，所述连接部通过螺栓与所述样品台连接，所述样品台上开设有供所述螺栓连接的第一安装孔，所述连接部上开设有供所述螺栓连接的第二安装孔。

本实用新型可选择性区域保护的镀膜装置的进一步改进在于，所述第一安装孔的数量为多个，且多个所述第一安装孔间隔地设于所述样品台的边缘。

本实用新型可选择性区域保护的镀膜装置的进一步改进在于，所述连接部为长条形，所述第二安装孔的数量为多个，且多个所述第二安装孔沿所述连接部的长度方向间隔设置。

本实用新型可选择性区域保护的镀膜装置的进一步改进在于，所述遮盖板的数量为多个，且多个所述遮盖板的尺寸各不相同。

附图说明

图1示出了本实用新型待切割样品、样品台和遮盖板的安装示意图。

图2示出了本实用新型待切割样品镀膜后的状态示意图。

图3示出了本实用新型样品台的平面图。

图4示出了本实用新型不同尺寸的遮盖板对比示意图。

具体实施方式