[实用新型]超纯水取样器

说明书

本实用新型提供了一种超纯水取样器，包括：取样瓶；进液管，一端位于所述取样瓶外，另一端位于所述取样瓶内，以向所述取样瓶供应超纯水；导流结构，位于所述取样瓶内，包括若干弧形的导流管，所述导流管的一端均与所述进液管位于所述取样瓶内的一端连通，所述导流管的另一端呈弧形向外延伸；出液管，一端位于所述取样瓶外，另一端位于所述取样瓶内，以排出所述取样瓶内的超纯水。本实用新型解决了现有技术中超纯水取样成功率低和取样效率低的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种超纯水取样器。

背景技术

超纯水是一种纯度极高的水，超纯水在半导体生产中受到广泛应用。在超纯水的生产和使用环节，需要对超纯水的水质进行取样检测，检测内容包括检测超纯水的电阻率以及细菌、颗粒、超微量元素含量等，超纯水中含有微量不纯物，微量不纯物需要控制在极低的范围内，超过规范的超纯水会对产品的良率造成不可预期的影响。

在超纯水的生产使用过程中，超纯水的检测取样需要使用专门的取样器进行取样。但是，现有的超纯水取样器要么取样成功率低、检测不准确，要么取样时间长且会导致超纯水的严重浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超纯水取样器，以解决现有技术中超纯水取样成功率低和取样效率低的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种超纯水取样器，包括：

取样瓶；

进液管，一端位于所述取样瓶外，另一端位于所述取样瓶内，以向所述取样瓶供应超纯水；

导流结构，位于所述取样瓶内，包括若干弧形的导流管，所述导流管的一端均与所述进液管位于所述取样瓶内的一端连通，所述导流管的另一端呈弧形向外延伸；

出液管，一端位于所述取样瓶外，另一端位于所述取样瓶内，以排出所述取样瓶内的超纯水。

可选的，若干所述导流管向外延伸的一端位于一虚拟圆上，每个所述导流管中流出的水流方向与所述虚拟圆相切。

可选的，若干所述导流管呈顺时针或逆时针方向弧形弯曲。

可选的，所述导流结构具有外壳，所述导流管位于所述外壳内。

可选的，所述外壳内还设置有限位组件，用于限定每个所述导流管的位置。

可选的，所述限位组件包括若干限位槽，若干所述限位槽呈周向分布，每个所述导流管卡入对应的所述限位槽内。

可选的，所述进液管位于所述取样瓶内的一端低于所述出液管位于所述取样瓶内的一端。

可选的，所述进液管上设有一进液阀，所述进液阀位于所述取样瓶外；

和/或，所述出液管上设有一出液阀，所述出液阀位于所述取样瓶外。

可选的，所述取样瓶具有一开口，所述超纯水取样器还包括瓶盖，所述瓶盖与所述开口密封配合，所述进液管及所述出液管均穿过所述瓶盖伸入所述取样瓶中。

可选的，所述导流结构与所述进液管可拆卸连接；或者，所述导流结构与所述进液管为一体结构。

本实用新型提供了一种超纯水取样器，在取样瓶内设置一导流结构，导流结构中包括若干弧形的导流管，导流管的一端与进液管位于取样瓶内的一端连通，导流管的另一端呈弧形向外延伸，超纯水通过进液管流入导流结构，由于若干导流管呈弧形向外延伸，以使从若干导流管流出的超纯水会形成漩涡状的水流，漩涡状的水流能够较好地冲洗取样瓶的内壁，再将多余的超纯水通过出液管排出，使取样瓶能够得到良好的清洗，避免清洗不彻底影响超纯水检测的准确性，以提高超纯水取样成功率；并且漩涡状的水流具有较强的冲洗效果，在清洗取样瓶时，不需要大量的超纯水和较长的清洗时间，以提高超纯水取样效率并避免了超纯水浪费。

附图说明