[实用新型]一种真空喷涂装置的靶材进出机构

权利要求书

1.一种真空喷涂装置的靶材进出机构，所述真空喷涂装置包括机架和固定安装在所述机架上的卧式真空筒体，其特征在于：所述靶材进出机构包括靶材转动行走组件和进出料组件，所述靶材转动行走组件部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动；所述进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧，用于与所述靶材转动行走机构配合自动实现将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。

2.如权利要求1所述的靶材进出机构，其特征在于：所述卧式真空筒体的进出料口安装有可转动打开的端盖。

3.如权利要求1所述的靶材进出机构，其特征在于：所述靶材转动行走组件包括第一轨道、第二轨道、第一安装座和至少两个第二安装座、转轴、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一轨道和所述第二轨道分别安装在机架上和所述卧式真空筒体内并在一直线上，所述第一安装座和所述第二安装座分别滑动接合在所述第一轨道和第二轨道上，所述转轴可转动地安装所述第一安装座和所述第二安装座上，其一端与所述第一驱动装置驱动连接，另一端与所述靶材安装管的一端连接，所述靶材从所述靶材安装管的另一端套入并安装在所述靶材安装管上，其末端可转动地安装在所述第二安装座上，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置安装在所述机架上，分别与所述转轴和所述第一安装座驱动连接。

4.如权利要求3所述的靶材进出机构，其特征在于：所述第一驱动装置包括第一电机、两个第一同步轮和第一同步传动带，所述第一电机固定在所述机架上，所述两个第一同步轮分别固定在所述第一电机的输出轴和所述转轴上，所述第一同步传动带环绕在所述两个第一同步轮上；以及所述第二驱动装置包括第二电机、两个第二同步轮和第二同步传动带，所述第二电机固定在所述机架上，所述两个第二同步轮中的一个固定在所述第二电机的输出轴上，另一个固定在所述机架上，所述第二同步传动带环绕在所述两个第二同步轮上，所述第一安装座与所述第二同步传动带固定连接。

5.如权利要求3所述的靶材进出机构，其特征在于：所述进出料组件包括可移动支架、安装在所述可移动支架上的第三轨道和滑动接合在所述第三轨道的移动小车，所述第三轨道用于与所述第二轨道连接，所述移动小车通过遥控器控制，其上设有用于与所述第二安装座快速拆卸连接的结构。

6.如权利要求3所述的靶材进出机构，其特征在于：所述转轴是中空的，其自由端为出水口；所述靶材的自由端连接有进水管，所述转轴、所述进水管、所述靶材和所述靶材安装管一起构成一冷却通道，所述冷却通道可用于对所述靶材和所述靶材进行冷却。

7.如权利要求6所述的靶材进出机构，其特征在于：所述进水管安装在所述第二安装座上，通过法兰与所述靶材密封连接。