[实用新型]一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置

说明书

本实用新型涉及气体灌装技术领域，公开的一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车、灌装装置、称重装置，移动车的上部设置有用于气体罐称重的称重装置，移动车的头部设置有用于气体罐灌装的灌装装置，灌装装置输出端通过管道与气体罐罐口联通，灌装装置输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车上一侧置有控制系统操作面板，控制系统操作面板连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置相连。本实用新型能够快速对气体罐进行清洗、灌装和称重，其结构简单，操作方便，生产成本低，使用效果好。

技术领域

本实用新型涉及电子气体灌装技术领域，尤其涉及一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置。

背景技术

目前，半导体工业用的气体统称电子气体，电子气体如氟化物蚀刻气体三氟甲烷，要求纯度达99.999%，才能满足半导体刻蚀二氧化硅的工艺。三氟甲烷是一种无色、微味，不导电的低温（-100℃）电子气体，由于大型气瓶的灌装，需要人工将气瓶搬运到清洗口进行清洗，再到灌装口灌装，劳动强度大，运输不方便，为此需要一种移动式灌装装置。

发明内容

本实用新型目的是为了解决现有技术中存在的问题，提供一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车、灌装装置、称重装置，移动车的上部设置有用于气体罐称重的称重装置，移动车的头部设置有用于气体罐灌装的灌装装置，灌装装置输出端通过管道与气体罐罐口联通，灌装装置输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车上一侧置有控制系统操作面板，控制系统操作面板连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置相连。

一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，所述灌装装置由阀体、气源快速接头和气罐快速接头组成，所述阀体一端通过管道与气源快速接头连通，阀体另一端通过管道与气罐快速接头连通。

一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，所述灌装装置为一个泵系，泵系由泵体输入端通过管道与气源快速接头连通，泵体输出端通过管道与气罐快速接头连通。

由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下优越性：

一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，通过将移动车载有的气体罐，运输到清洗站口对气体罐清洗，再将清洗后的气体罐进行灌装。当称重装置达到设定称重数量。关闭阀体，停止灌装。本实用新型能够快速对气体罐进行清洗、灌装和称重，其结构简单，操作方便，生产成本低，使用效果好。

附图说明

图1为移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置的结构示意图。

图中：1-移动车，2-称重装置，3-气体罐，4-气罐快速接头，灌5-装装置，6-气源快速接头，7-电子气体站灌口端，8-系统操作面板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例1

如图1所示，一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车1、灌装装置5、称重装置2，移动车1的上部设置有用于气体罐3称重的称重装置2，移动车1的头部设置有用于气体罐3灌装的灌装装置5，灌装装置5输出端通过管道与气体罐3罐口联通，灌装装置5输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车1上一侧置有控制系统操作面板8，控制系统操作面板8连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置2相连。

所述灌装装置5由阀体、气源快速接头6和气罐快速接头4组成，所述阀体一端通过管道与气源快速接头6连通，阀体另一端通过管道与气罐快速接头4连通。