[实用新型]一种用于非标晶圆的载盘有效
| 申请号： | 202120380456.0 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN214361664U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张强 | 申请（专利权）人： | 上海悦匠实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 非标 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于非标晶圆的载盘，其特征在于，其包括托盘主体，所述托盘主体固定在溅射台上，所述托盘主体上开设有与非标晶圆的直径相匹配的凹槽，所述凹槽的底部开设有多个通气孔，所述凹槽内用于放置非标晶圆，所述托盘主体上沿着凹槽上边沿圆周方向固定有多个用于压住非标晶圆的表面的压固机构。
2.如权利要求1所述的用于非标晶圆的载盘，其特征在于，所述托盘主体上沿着凹槽上边沿圆周方向固定有三个均匀分布的用于压住非标晶圆的表面的压固机构。
3.如权利要求1所述的用于非标晶圆的载盘，其特征在于，所述压固机构包括截面呈倒U型的支架主体，所述支架主体的表面开设有与拉杆相匹配的拉杆孔，所述拉杆穿设拉杆孔并所述拉杆的下部置于支架主体的内腔内，所述支架主体的内腔放置有相对于支架主体的内腔相对移动的滑动块，所述滑动块的一端与拉杆的底部固定连接，所述滑动块的另一端为斜面，所述斜面朝向凹槽。
4.如权利要求3所述的用于非标晶圆的载盘，其特征在于，所述斜面为与水平面呈锐角的斜面。
5.如权利要求1所述的用于非标晶圆的载盘，其特征在于，所述托盘主体为金属托盘主体。
6.如权利要求1所述的用于非标晶圆的载盘，其特征在于，该些通气孔呈周向排布圆孔组。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海悦匠实业有限公司，未经上海悦匠实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120380456.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种塔式起重机用卷筒
- 下一篇：一种用于降低非标晶圆温度的载盘
- 同类专利
- 专利分类
