[实用新型]晶圆盒搬运机器人

权利要求书

1.一种晶圆盒搬运机器人，其特征在于：包括自动导引车和设于所述自动导引车上的搬运执行机构，所述搬运执行机构包括设于所述自动导引车上的主座体、用于夹持晶圆盒的夹持装置和安装于所述主座体上并与所述夹持装置连接以用于驱动所述夹持装置运动的机械臂，所述主座体上设有至少一个用于承载所述晶圆盒的卡槽和至少一个分别用于检测各所述卡槽内是否装载有所述晶圆盒的检测装置，所述卡槽具有用于支撑所述晶圆盒的槽底壁和凸设于所述槽底壁之边缘以用于对所述晶圆盒限位的槽侧壁，所述检测装置包括嵌设于所述槽底壁上以用于探测所述槽底壁上是否支撑有所述晶圆盒的第一探测器和设于所述槽侧壁上以用于探测所述卡槽内是否装载有所述晶圆盒的第二探测器。

2.如权利要求1所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述第一探测器为微动开关或者压力传感器。

3.如权利要求1或2所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：每个所述检测装置都包括一个或两个以上的所述第一探测器。

4.如权利要求3所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：每个所述检测装置都包括两个对称分布于所述槽底壁之中心两侧的所述第一探测器。

5.如权利要求4所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述槽底壁的边缘包括四个两两呈对角设置的拐角部，每个所述检测装置都包括两个分别靠近于两个呈对角设置之所述拐角部设置的所述第一探测器。

6.如权利要求1或2所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述第二探测器为漫反射式光电传感器或者光耦合器或者超声波传感器。

7.如权利要求1或2所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述槽侧壁为沿所述槽底壁之边缘环绕设置的环状壁体；或者，

所述槽侧壁包括至少两个沿环绕所述槽底壁之边缘间隔设置的分段式壁体。

8.如权利要求1或2所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述搬运执行机构还包括用于识别所述晶圆盒之信息载体的识别装置。

9.如权利要求8所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述识别装置包括射频读卡器和/或条形码扫描器和/或二维码扫描器。

10.如权利要求8所述的晶圆盒搬运机器人，其特征在于：所述主座体包括横向延伸部、竖向延伸部和至少一个形成有所述卡槽的承载部，所述横向延伸部设于自动导引车上，所述竖向延伸部与所述横向延伸部或者所述自动导引车连接并延伸于所述横向延伸部的上方，所述承载部设于所述横向延伸部的上方且与所述横向延伸部的顶部或者所述竖向延伸部连接，所述槽侧壁包括间隔、相对设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近所述竖向延伸部设置，所述识别装置嵌设于所述第二侧壁上。