[实用新型]一种清洁激光器镜片的治具有效
申请号: | 202120386681.5 | 申请日: | 2021-02-20 |
公开(公告)号: | CN214516337U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 王腾腾;韩开 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;F26B21/00;B08B1/00;B08B13/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201506 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洁 激光器 镜片 | ||
本实用新型公开了一种清洁激光器镜片的治具,所述清洁激光器镜片的治具包括:箱体,将所述箱体内划分为拆装区和清洁区;所述拆装区内设置有拆装台;所述清洁区内设置有固定装置和清洁装置;所述箱体的表面设置有进出口和清洁口,所述进出口设置于靠近所述拆装区的一侧,所述清洁口设置于靠近所述清洁区的一侧。本实用新型实施例可以实现对激光器镜片更便捷的清洁,以及提高激光器镜片的清洁效果。
技术领域
本实用新型实施例涉及镜片清洁技术领域,尤其涉及一种清洁激光器镜片的治具。
背景技术
目前,面板行业中采用激光退火工艺使非晶硅变为多晶硅,其使用的激光发生器需要特定镜片进行密封。镜片的清洁程度直接影响激光器的使用寿命和非晶硅变结晶质量,进而影响产品生产成本和产品质量,因此需要对激光器镜片定期清洁。
由于镜片清洁对环境的清洁程度要求高,目前的处理方法为在工厂内建立一个洁净室用于镜片清洁。但洁净室空间大,气流难以带走洁净室内的杂质微粒,环境洁净程度难以控制,致使镜片清洁程度受到影响;且洁净室位置固定,对距离较远的机台镜片的取放清洁并不友好。此外,清洁人员的进入也会带入更多的微粒,污染洁净室。因此,现有的激光器镜片清洁方案存在镜片清洁效果差、便捷性差的问题。
实用新型内容
本实用新型实施例提供了一种清洁激光器镜片的治具,以实现对激光器镜片更便捷的清洁,以及提高激光器镜片的清洁效果。
本实用新型实施例提供了一种清洁激光器镜片的治具,包括:
箱体,将所述箱体内划分为拆装区和清洁区;所述拆装区内设置有拆装台;所述清洁区内设置有固定装置和清洁装置;
所述箱体的表面设置有进出口和清洁口,所述进出口设置于靠近所述拆装区的一侧,所述清洁口设置于靠近所述清洁区的一侧。
可选地,所述箱体的表面包括第一面、第二面、第三面、第四面、第五面和第六面;其中,所述第一面和所述第二面相对设置;所述第三面和所述第四面相对设置;所述第五面和所述第六面相对设置;
沿所述第三面和所述第四面的连线方向,所述清洁区位于靠近所述第四面的位置,所述拆装区位于靠近所述第三面的位置;所述清洁口设置于所述箱体的第二面上;所述进出口设置于所述箱体的第三面上。
可选地,所述箱体的第五面为透明面;或者,所述箱体为透明箱体。
可选地,所述清洁装置包括:气体喷嘴和液体喷嘴;所述气体喷嘴和所述液体喷嘴均固定于所述箱体的表面。
可选地,所述清洁区内还设置有光源,所述光源用于与所述激光器镜片正对设置。
可选地,所述拆装台固定于所述箱体的表面;
所述拆装区还包括拆装工具,所述拆装工具放置于所述拆装台上。
可选地,所述清洁激光器镜片的治具还包括:导轨,所述导轨设置于所述进出口和所述拆装区之间,和/或所述导轨设置于所述拆装区和所述清洁区之间;所述导轨上设置有滑动组件,所述滑动组件用于运输所述激光器镜片。
可选地,所述清洁激光器镜片的治具还包括:弹性密封圈,所述弹性密封圈套接于所述清洁口的内侧。
可选地,所述清洁口包括:第一清洁口和第二清洁口;所述第一清洁口和所述第二清洁口分别用于左手和右手伸入所述箱体内。
可选地,所述清洁激光器镜片的治具,还包括:工具口;
所述工具口设置于靠近所述拆装区的一侧。
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