[实用新型]一种开管扩散炉炉帽提醒装置

说明书

本实用新型涉及一种开管扩散炉炉帽提醒装置，属于半导体制造技术领域。包括用于放置炉帽的放置台，所述放置台底部设置重力传感器，所述重力传感器与声光报警器信号连接；所述开管扩散炉外侧设有导轨，所述导轨上设置计时传感器和位置传感器，所述位置传感器设于计时传感器外侧；所述导轨上活动设有石英勾，所述石英勾能够向扩散炉靠近而依次触发计时传感器和位置传感器，或向开管扩散炉远离；所述计时传感器和位置传感器与声光报警器信号连接；同时触发所述计时传感器、位置传感器和重力传感器且计时传感器到达计时时间时，满足声光报警器触发条件。本申请不仅能够发出声光报警，提醒作业人员；而且能够暂停工艺作业，避免造成工艺偏差。

技术领域

本实用新型涉及一种开管扩散炉炉帽提醒装置，属于半导体制造技术领域。

背景技术

扩散炉是半导体制造业对硅片进行热氧化、高温扩散、退火及合金化等工艺处理的主要设备。扩散炉通常分为开管扩散炉、闭管扩散炉和真空扩散炉(带泵组)等几类。开管扩散炉结构简单，技术成熟，在具体应用中占据较大比例。开管扩散炉在退火、合金化等相对要求较低的工艺方面能够满足要求的。

开管扩散炉在上下料前后需要通过人工取下或套上石英炉帽，但在实际生产过程中，若作业人员将硅片放入炉管后忘了盖好炉帽的话，整个炉管内的工艺气氛就完全不对了，进而造成严重的工艺偏差，带来严重的损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种开管扩散炉炉帽提醒装置，能够提醒作业人员盖上炉帽，避免造成工艺偏差。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种开管扩散炉炉帽提醒装置，包括用于放置炉帽的放置台，所述放置台底部设置重力传感器，所述重力传感器与声光报警器信号连接；所述开管扩散炉外侧设有导轨，所述导轨上设置计时传感器和位置传感器，所述位置传感器设于计时传感器外侧；所述导轨上活动设有石英勾，所述石英勾能够向扩散炉靠近而依次触发计时传感器和位置传感器，或向开管扩散炉远离；所述计时传感器和位置传感器与声光报警器信号连接；同时触发所述计时传感器、位置传感器和重力传感器且计时传感器到达计时时间时，满足声光报警器触发条件。

所述放置台为圆形结构件，所述放置台的直径比炉帽的外径大5～8mm。

所述放置台边沿围设挡圈。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：一种开管扩散炉炉帽提醒装置，同时触发计时传感器、位置传感器和重力传感器且计时传感器到达设定时间时，满足声光报警器触发条件，声光报警器不仅能够发出声光报警，提醒作业人员盖炉帽；而且能够暂停工艺作业，避免造成工艺偏差。

附图说明

图1为本实用新型实施例一种开管扩散炉炉帽提醒装置中放置台的示意图；

图2为炉帽放于放置台的示意图；

图3为石英勾的安装示意图；

图4为本实用新型实施例一种开管扩散炉炉帽提醒装置原理图；

图中1放置台、1.1挡圈、2重力传感器、3炉帽、4石英勾、5导轨、6滑块、 7位置传感器、8计时传感器。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。