[实用新型]一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置有效
| 申请号： | 202120399660.7 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN214361654U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 许建平;陈晶;许红;于久灏;王威;王景旭 | 申请（专利权）人： | 黑龙江省海振科技有限公司;黑龙江工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150050 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 橡胶 表面 沉积 dlc 涂层 射频 耦合 磁控溅射 装置 | ||
1.一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置，其特征在于：所述一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置包括上电极板(1)、磁控靶(2)、栅网(3)、工件(4)、反应气体(5)、惰性气体(6)、射频电源(7)、磁控电源(8)、偏压电源(9)、真空腔室(10)、真空泵组(11)、下电极板(12)、主转轴(13)、二级转轴(14)、转盘(15)；
所述工件(4)位于栅网(3)内，栅网(3)可拆卸安装在二级转轴(14)上，二级转轴(14)通过轴承可拆卸安装在转盘(15)上，转盘(15)通过轴承可拆卸安装在主转轴(13)上，栅网(3)通过主转轴(13)带动二级转轴(14)实现公转和自传运动，所述上电极板(1)和下电极板(12)联通并且位于磁控靶(2)和栅网(3)之间，所述射频电源(7)的阴极连接上电极板(1)和下电极板(12)，射频电源(7)的阳极连接真空腔室(10)，所述偏压电源(9)的阴极和阳极分别连接栅网(3)和真空腔室(10)，所述磁控电源(8)的阴极和阳极分别连接磁控靶(2)和真空腔室(10)，所述真空腔室(10)连接大地，所述真空泵组(11)对真空腔室(10)抽真空，所述反应气体(5)为乙炔，所述惰性气体(6)为氩气，所述磁控靶(2)为石墨。
2.根据权利要求1所述的一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置，其特征在于偏压电源(9)的脉冲电压50V-1200V、占空比10％-90％。
3.根据权利要求1所述的一种橡胶表面沉积DLC涂层的射频耦合磁控溅射装置，其特征在于上电极板(1)和下电极板(12)间距100mm-300mm。
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