[实用新型]一种多梯度的长晶实验装置有效
| 申请号： | 202120409763.7 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN214327964U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韩立岩 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 实验 装置 | ||
1.一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：包括坩埚(1)、长晶料(2)、小晶片(3)、晶片托架(4)、加热器(5)和人字型支架(6)，坩埚(1)的下部装有长晶料(2)，坩埚(1)位于加热器(5)内侧，人字型支架(6)位于长晶料(2)上侧且人字型支架(6)与坩埚(1)连接，人字型支架(6)为阶梯型架，人字型支架(6)的阶梯与晶片托架(4)连接，晶片托架(4)的下部连接小晶片(3)。
2.根据权利要求1所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：还包括旋钮(7)，人字型支架(6)的两端与坩埚(1)的侧壁轴承连接，人字型支架(6)的一端伸出坩埚(1)与旋钮(7)连接。
3.根据权利要求2所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：所述人字型支架(6)包括平行设置的第一支架(61)和第二支架(62)，第一支架(61)和第二支架(62)的阶梯之间铰接安装座(41)，晶片托架(4)与安装座(41)连接，第一支架(61)或第二支架(62)的一端伸出坩埚(1)与旋钮(7)连接。
4.根据权利要求3所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：所述旋钮(7)为隔热旋钮。
5.根据权利要求1所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：所述坩埚(1)为上部设置可开关的开口或者侧面设置可开关的开口。
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