[实用新型]一种压电陶瓷驱动的蠕动式变量微泵

说明书

本实用新型提供一种压电陶瓷驱动的蠕动式变量微泵，包括流道装置和液压放大器，所述流道装置形成有一具有柔性隔膜外壁的流道；所述液压放大器包括液压外壳以及设置于液压外壳上的多组液压机构，所述液压机构均包括：形成于液压外壳内且注入有流动介质的型腔、压电陶瓷、活塞和推杆，所述型腔具有相连通的第一段腔室和第二段腔室，所述第一段腔室的口径大于第二段腔室的口径，所述活塞连接所述压电陶瓷并装配于第一段腔室内，所述推杆装配于第二段腔室内并伸出所述液压外壳，多组液压机构的推杆沿流道的延伸方向依次抵接于柔性隔膜外壁上。具有响应时间快、功率消耗低和驱动性能高等优点。

技术领域

本实用新型涉及微泵领域，具体涉及一种压电陶瓷驱动的蠕动式变量微泵。

背景技术

微泵是用于流体控制的微阀，负责控制泵送样品，控制流量及流速。微泵的分类方式有很多种：根据有无可动阀片，可分为有阀微泵和无阀微泵；根据驱动方式不同，可分为压电式、静电式、气动式、热驱动式等。

现有的压电式的微泵普遍存在位移精度控制较低、响应时间较慢以及功率消耗较高等缺点，需要进一步的进行改进。

实用新型内容

为此，本实用新型为解决上述问题，提供一种压电陶瓷驱动的蠕动式变量微泵。

为实现上述目的，本实用新型提供的技术方案如下：

一种压电陶瓷驱动的蠕动式变量微泵，包括流道装置和液压放大器，所述流道装置形成有一具有柔性隔膜外壁的流道；所述液压放大器包括液压外壳以及设置于液压外壳上的多组液压机构，所述液压机构均包括：形成于液压外壳内且注入有流动介质的型腔、压电陶瓷、活塞和推杆，所述型腔具有相连通的第一段腔室和第二段腔室，所述第一段腔室的口径大于第二段腔室的口径，所述活塞连接所述压电陶瓷并密封且可活动的装配于第一段腔室内，所述推杆密封且可活动的装配于第二段腔室内并伸出所述液压外壳，多组液压机构的推杆沿流道的延伸方向依次抵接于柔性隔膜外壁上。

进一步的，所述流道装置包括底座和柔性隔膜，所述底座上形成有一长条形的凹槽，所述柔性隔膜密封装配于底座的凹槽的槽口上，进而与凹槽共同形成所述流道，所述柔性隔膜即为流道的柔性隔膜外壁；所述底座上还开设有连通所述流道的进口和出口。

进一步的，所述底座上连通所述流道的进口和出口均装配有单向阀。

进一步的，所述单向阀包括左压块、右压块和单向阀隔片，所述单向阀隔片设置于左压块和右压块之间，所述左压块和右压块相密封扣合，进而固定所述单向阀隔片，所述左压块和右压块上开设有相对应的通孔，所述通孔还连通相对应的进口或出口。

进一步的，所述液压外壳包括上下密封且盖合的上壳体和下壳体，所述型腔形成于下壳体上，所述型腔的第一段腔室开设于下壳体的上表面，所述第二段腔室由第一段腔室的底部贯通至下壳体的下底面，所述上壳体上形成有对应第一段腔室的导向槽孔，所述压电陶瓷装配于导向槽孔内，所述活塞包括活塞杆和活塞部，所述活塞杆连接所述压电陶瓷，所述活塞部装配于第一段腔室内，所述推杆装配于第二段腔室并从下壳体的下底面的开口伸出。

进一步的，所述推杆呈倒T形结构，具有一竖直设置的导向杆部和连接导向杆部的底端的抵接部，所述推杆的导向杆部装配于第二段腔室内，所述抵接部伸出所述下壳体并抵接于柔性隔膜外壁上。

进一步的，所述抵接部用于抵接柔性隔膜外壁的抵接面为弧形面。

进一步的，所述下壳体的下底面还凹陷有容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述推杆的抵接部。

进一步的，所述第二段腔室的横截面为方形，所述导向杆部为与第二段腔室相适配的方形杆部。

通过本实用新型提供的技术方案，具有如下有益效果：