[实用新型]一种用于测定膜分离氦效率的装置

权利要求书

1.一种用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，包括供气系统、真空系统、分离系统和检测系统，所述供气系统包括气源、质量流量控制器和第一压力表，所述气源通过管路和质量流量控制器连接；所述分离系统包括分离腔体和膜固定、密封装置，所述分离腔体内设有膜固定、密封装置，所述分离腔体通过管路与质量流量控制器连接，两者连接的管路上设有第一压力表；所述真空系统包括真空泵和第二压力表，所述真空泵设于分离腔体底部，所述第二压力表与分离腔体连接；所述检测系统包括色谱检测装置和第三压力表，所述色谱检测装置与分离腔体的上部分通过管路连接，两者连接的管路与分离腔体下部分连接的管路上设有第三压力表。

2.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述分离腔体上部分为圆柱形，下部分为漏斗形，在上部分的底部设有膜固定、密封装置。

3.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述第二压力表设于分离腔体的下部分。

4.根据权利要求2所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述膜固定、密封装置为支撑板。

5.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述质量流量控制器与分离腔体连接的管路上还设有第一截止阀。

6.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述色谱检测装置为气相色谱装置。

7.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述分离腔体和色谱检测装置连接的管路上设有压力调节阀和第二截止阀。

8.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述分离腔体的下部分还设有第三截止阀。

9.根据权利要求1所述的用于测定膜分离氦效率的装置，其特征在于，所述第三压力表所在的管路上设有第四截止阀。