[实用新型]一种半导体衬底清洗水枪用调节装置及包含它的清洗水枪

权利要求书

1.一种半导体衬底清洗水枪用调节装置，其特征在于：包括外筒、伸缩杆和限位球；外筒为顶部敞口的筒状结构，外筒侧壁上设有沿高度方向设置的卡槽；伸缩杆的外径小于外筒的内径，伸缩杆底部位于外筒内侧、顶部从外筒顶部伸出；限位球通过弹性件连接在伸缩杆的底部，当弹性件处于自由状态时，限位球卡合在外筒的卡槽中，此时，限位球位于卡槽内侧的部分小于限位球体积的一半。

2.如权利要求1所述的半导体衬底清洗水枪用调节装置，其特征在于：外筒的外侧壁上设有刻度值。

3.如权利要求1或2所述的半导体衬底清洗水枪用调节装置，其特征在于：外筒侧壁上同一高度的卡槽有相对设置的两个；限位球有两个，分别通过弹性件相对连接在伸缩杆底部的两侧，当弹性件处于自由状态时，两个限位球分别卡合在同一高度的两个卡槽中。

4.如权利要求1或2所述的半导体衬底清洗水枪用调节装置，其特征在于：弹性件为弹簧或弹性条。

5.如权利要求1或2所述的半导体衬底清洗水枪用调节装置，其特征在于：限位球位于卡槽内侧的部分为限位球体积的1/3～1/5。

6.一种半导体衬底清洗水枪，包括权利要求1-5任意一项所述的半导体衬底清洗水枪用调节装置和水枪本体，水枪本体包括进水管、按压把手和枪头，按压把手铰接在进水管一侧、并与进水管呈25～60°夹角，枪头连通在进水管另一侧，其特征在于：将把手与进水管连接的一端称为连接端、另一端称为自由端，半导体衬底清洗水枪用调节装置设在进水管和按压把手之间、且位于按压把手的自由端一端，外筒的底部连接进水管，伸缩杆的顶部连接按压把手。

7.如权利要求6所述的半导体衬底清洗水枪，其特征在于：进水管的外侧设有挂钩。