[实用新型]气相沉积炉

权利要求书

1.一种气相沉积炉，其特征在于，所述气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构，所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封，

所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构，所述管座固定连接于所述下管板，

所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述螺杆焊接于所述下管板。

3.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述连接板焊接于所述压盖。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述压盖至少部分地插入所述管座，所述压盖与所述管座间隙配合。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，

所述填料密封结构包括多组所述支耳结构，通过调节多个所述螺母在其对应螺杆上的位置而调节所述压盖在所述轴向上的位置。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述压盖和所述管座同轴设置。

7.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，

所述连接板具有孔，所述孔的直径大于所述螺杆的直径，使得所述螺杆能够相对于所述连接板位移和倾斜。