[实用新型]光衰减装置、光学系统及检测设备有效
申请号: | 202120431597.0 | 申请日: | 2021-02-26 |
公开(公告)号: | CN214311099U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 李志强;王天民;陈鲁 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B26/02 | 分类号: | G02B26/02;G01M11/02 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 邵泳城 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衰减 装置 光学系统 检测 设备 | ||
本申请公开了一种光衰减装置,光衰减装置设置在光源和传输元件之间,光衰减装置用于减少光源传输给传输元件的光线,光衰减装置包括至少一个发散元件及切换结构,发散元件用于改变所述光源出射的照明光束的发散角度,以减少进入所述传输元件的光线;切换结构设置有至少一个安装空位,安装空位用于安装发散元件。本申请还公开了一种光学系统及检测设备,发散元件可以发散由光源出射的光线,使得光源出射的光线只有部分可以进入到传输元件,进而光线进入到传输元件的温度较低,不易造成传输元件损坏。
技术领域
本申请涉及检测技术领域,更具体而言,涉及一种光衰减装置、光学系统及检测设备。
背景技术
检测设备在对待检测件进行检测时,需要光照射在待检测件上,为提高检测的准确性,需要不同光强的光照射至待检测件上。一般采用衰减片吸收或者反射光束中的部分光,使得检测光的光强减小,反射型衰减片镀的膜层是金属膜层,可耐高温,但是光会反射回光源,会损坏光源;透射型衰减片镀的是衰减膜,目前衰减膜层无法耐高温,且常规基底材料无法耐高温,在高温下会碎裂,使得光线无法到达待检测件甚至检测设备工作异常。
实用新型内容
本申请实施方式提供一种光衰减装置、光学系统及检测设备。
本申请实施方式的光衰减装置设置在光源和传输元件之间,所述光衰减装置用于减少所述光源传输给所述传输元件的光线,以减少进入所述传输元件的光线;所述光衰减装置包括至少一个发散元件及切换结构,所述发散元件用于改变所述光源出射的照明光束的发散角度,以减少进入所述传输元件的光线;所述切换结构设置有至少一个安装空位,所述安装空位用于安装所述发散元件。
在某些实施方式中,所述安装空位的数量为多个,所述发散元件的数量为多个,多个所述发散元件的光学参数不同,多个所述发散元件分别安装在多个所述安装空位内,所述发散元件的数量小于或等于所述安装空位的数量。
在某些实施方式中,所述光衰减装置还包括驱动件,所述驱动件与所述切换结构连接,用于驱动所述切换结构运动,以切换与所述光源相对的所述发散元件。
在某些实施方式中,所述发散元件包括凹透镜或散射片。
在某些实施方式中,所述凹透镜包括双凹透镜、平凹透镜及凸凹透镜中的一种或多种。
在某些实施方式中,所述发散元件由熔融石英制成。
本申请实施方式的光学系统包括光源、上述任一实施方式所述的光衰减装置及传输元件,所述光源用于出射照明光束;所述光衰减装置设置在所述光源的出光侧,所述照明光束经所述光衰减装置形成检测光束;所述传输元件设置在所述光衰减装置的远离所述光源的一侧,用于传输经所述光衰减装置形成的检测光束。
在某些实施方式中,所述光学系统还包括遮光罩,所述遮光罩用于罩设所述光源的出口至所述传输元件的入口之间的至少部分区域,以阻止所述光学系统中的至少部分光线溢出所述光学系统。
在某些实施方式中,所述遮光罩由遮光材料制成。
在某些实施方式中,所述遮光罩由吸光材料制成。
在某些实施方式中,所述遮光罩设置有吸光层。
在某些实施方式中,所述光源包括发光源及准直元件,所述发光源用于出射光线;所述准直元件用于准直所述发光源发出的光线形成照明光束。
在某些实施方式中,所述发光源为LED光源或激光光源。
在某些实施方式中,所述准直元件包括凹透镜、凸透镜、柱面镜中的一种或多种。
在某些实施方式中,所述传输元件包括光纤。
本申请实施方式的检测设备包括上述任一实施方式所述的光学系统及机架,所述光学系统安装在所述机架上。
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