[实用新型]一种靶材清洗烘干装置

说明书

本实用新型提供了一种靶材清洗烘干装置，包括支撑腿、箱体和设置在箱体上方的箱盖，所述箱体固定设置在支撑腿上，所述箱体底部一侧设置排水管，所述箱体底部设置烘干板，所述箱体内部两侧靠近箱体底部的位置设置防水超声振子，所述箱体内部放置靶材放置架，所述箱盖上方两侧设置两个进水口，所述两个进水口中间位置设置真空抽气机，所述真空抽气机通过抽气管与箱体内部相连通。本实用新型使靶材一次完成清洗烘干，消除靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，且经过干燥后的靶材产品表面不会残留任何痕迹，清洁度高，烘干加热时间短，工作效率高。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工清洗技术领域，具体涉及一种靶材清洗烘干装置。

背景技术

众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化，靶材材质分为金属靶材、陶瓷靶材和合金靶材，而靶材在加工过程中为保证靶材的清洁度通常需要进行相应清洗处理。

靶材的清洗直接决定了靶材表面的洁净度，目前一般的靶材清洗是通过人工使用酒精进行清洗，但是使用酒精清洗擦拭只能去除靶材表面的灰尘，清洁力度不够，常见的清洗方式还有高压水淋冲洗，会导致清洗不干净且留有水印，现有的人工清洗靶材产生了清洗效率低下和无法及时烘干靶材的问题。

公开号为CN210754111U的专利公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置，包括包括水槽、盖子，其特征在于，所述水槽底部分别装有超声振子、排水管，所述水槽顶部设有纯水水喉，所述水槽侧壁为双层结构并夹装有电阻加热棒，本清洗烘干装置使用时，使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，但是整个清洗和烘干的过程需要较长时间，且用水冲洗之后再加热烘干容易使产品表面留有水印。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种靶材清洗烘干装置，通过在箱盖上设置真空抽气机，在进行烘干作业时将内部环境置换成真空环境，不仅可以有效缩短干燥时间，而且在完全干燥之后靶材表面不会留有任何残留物质。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种靶材清洗烘干装置，包括支撑腿、箱体和设置在箱体上方的箱盖，所述箱体固定设置在支撑腿上，所述箱体底部一侧设置排水管，所述箱体底部设置烘干板，所述箱体内部两侧靠近箱体底部的位置设置防水超声振子，所述箱体内部放置靶材放置架，所述箱盖上方两侧设置两个进水口，所述两个进水口中间位置设置真空抽气机，所述真空抽气机通过抽气管与箱体内部相连通。

进一步的，所述进水口下端为伞状结构。

进一步的，所述靶材放置架由底座、盛放容器和若干隔板组成，所述底座固定设置在盛放容器底部四周，所述隔板设置在盛放容器内部。

进一步的，所述盛放容器为长方体空腔结构，所述盛放容器底部为回字型结构，所述盛放容器前后内侧面上设置第一凹槽。

进一步的，所述隔板上设置若干第二凹槽，所述隔板的长度与盛放容器前后内侧面上两个第一凹槽之间的距离相适配，所述隔板的宽度小于第一凹槽的的宽度，所述隔板的高度不超出盛放容器的高度。

进一步的，所述箱体上部与箱盖接触部分设置硅胶密封条。

本实用新型的有益效果是：在清洗烘干装置上下分别设置进出水口，可以快速将清洗烘干装置内注水，通过在清洗烘干装置内壁设置防水超声振子，在将需要清洗的靶材放入靶材清洗装置内后启动防水超声振子进行清洗，清洗完成后，通过排水管将水槽内的水排尽。

同时，靶材放置架通过隔板和第一凹槽配合使用，可以根据具体需要清洗的靶材的尺寸和数量进行组合，将靶材均匀错落的放置在靶材放置架上，可以避免在进行超声清洗时靶材之间因接触碰撞而发生破裂的现象，从而减少残次品的出现。