[实用新型]曝光旋转台治具有效
| 申请号： | 202120467573.0 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN214375820U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 胡伊特;胡伊达;张彭春;胡步浩;李旭孟;郑安龙 | 申请（专利权）人： | 欣灵电气股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 孙晓林 |
| 地址： | 325600 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 旋转 台治具 | ||
【权利要求书】：
1.一种曝光旋转台治具，其特征在于：包括底座、设置于底座上的平行的导轨，以及在导轨上滑行并可移置于工装底座正上方的支架，所述的支架的上面板设有第一紫外线发射器，所述的支架的一端侧面板设有第二紫外线发射器，所述的工装底座的下方设置直流电机，所述的直流电机的输出轴经联轴器与工件的转轴连接。
2.根据权利要求1所述的曝光旋转台治具，其特征在于：所述的导轨上设有对称的限位器，在所述的支架和所述的限位器的相接位置上，第一紫外线发射器和工件同轴。
3.根据权利要求1或2所述的曝光旋转台治具，其特征在于：所述的底座上设置支承座，所述的支承座的支柱包围所述的直流电机，所述的支承座的上方设有第一环形台阶，所述的第一环形台阶上设置工装底座，所述的工装底座的上方设有第二环形台阶，所述的第二环形台阶的上方放置工件。
4.根据权利要求3所述的曝光旋转台治具，其特征在于：所述的支承座上设有缺口，所述的缺口用以观察联轴器与其两端连接的输出轴、转轴的安装情况。
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