[实用新型]一种具有保温机构的晶体生长装置有效
申请号: | 202120471011.3 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN214881930U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 亓宏伟 | 申请(专利权)人: | 临沂大学 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 南京思宸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32548 | 代理人: | 王真 |
地址: | 276000 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 保温 机构 晶体生长 装置 | ||
本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体涉及一种具有保温机构的晶体生长装置,包括存放装置,所述存放装置包括放置箱,所述放置箱内壁的下表面固定连接有电动液压杆,所述电动液压杆的上表面固定连接有支撑板,所述放置箱的上表面抵触有箱门,所述放置箱内固定连接有保温装置,所述保温装置包括海绵垫,所述海绵垫内固定连接有水囊,所述放置箱内固定连接有通孔环。本实用新型设置有保温装置,通过设置海绵垫、水囊和橡胶圈,可以对放置箱进行全面的包裹,且通孔环与放置箱形成相对密闭的空间,同时水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失,保障了本装置的使用效果。
技术领域
本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体为一种具有保温机构的晶体生长装置。
背景技术
通常用于碳化硅衬底的晶体生长方法是物理气象传输法,通过此方法已经可以生产出质量很好的晶片,目前市场上已经有直径6英寸的商用碳化硅衬底晶片,对于大尺寸高质量的碳化硅晶体的生长,晶体的温度梯度的调节就更加重要。
目前市面上现有的晶体生长装置虽然在使用的过程中可以对温度进行精密的调节,但在对生长完成的晶体进行拿取更换新的晶体时,箱门会完全打开,且生长装置内缺少保温装置,导致热量会快速散失,影响了本装置的使用效果,同时现有的晶体生长装置,是将晶体放置在收集桶内,在生长的过程中会与内壁产生粘连,导致部分晶体难以收集,因此亟须一种具有保温机构的晶体生长装置来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有保温机构的晶体生长装置,以解决上述背景技术中提出的箱门会完全打开,且生长装置内缺少保温装置,导致热量会快速散失,影响了本装置的使用效果,同时晶体在生长的过程中会与收集桶内壁产生粘连,导致部分晶体难以收集的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有保温机构的晶体生长装置,包括存放装置,所述存放装置包括放置箱,所述放置箱内壁的下表面固定连接有电动液压杆,所述电动液压杆的上表面固定连接有支撑板,所述放置箱的上表面抵触有箱门,所述放置箱内固定连接有保温装置,所述保温装置包括海绵垫,所述海绵垫内固定连接有水囊,所述放置箱内固定连接有通孔环,所述放置箱内通过连接块固定连接有环形管,所述环形管套接在通孔环的外表面,所述支撑板的上表面抵触有清理装置,所述清理装置包括收集桶,所述收集桶内通过转轴固定连接有螺纹柱,所述螺纹柱的外表面螺纹连接有螺纹筒,所述螺纹筒的外表面固定连接有放置板,所述放置板的上表面固定连接有刮板,所述刮板与收集桶内壁相互靠近的一面抵触。
优选的,所述支撑板的上表面固定连接有插块,所述插块插设在收集桶下表面开设的插槽内。
优选的,所述海绵垫远离放置箱的一面开设有通孔,且通孔的位置与水囊的位置对应,所述放置箱的外表面固定连接有橡胶圈。
优选的,所述水囊内设置有支撑球,所述支撑球与水囊内壁相互靠近的一面固定连接。
优选的,所述螺纹柱的上表面固定连接有把手,所述环形管的上表面设置有输送管,且输送管卡接在放置箱内壁的上表面。
优选的,所述放置板的外表面固定连接有密封环,所述密封环与收集桶内壁相互靠近的一面抵触。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该具有保温机构的晶体生长装置,通过设置保温装置和清理装置,水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失,保障了本装置的使用效果,同时刮板对收集桶内壁粘连的晶体进行刮擦,且放置板对晶体进行收集,方便工作人员对晶体进行收集。
该装置设置有保温装置,通过设置海绵垫、水囊和橡胶圈,可以对放置箱进行全面的包裹,且通孔环与放置箱形成相对密闭的空间,同时水囊和海绵垫具有一定的吸热效果,可以防止放置箱内热气散失,保障了本装置的使用效果。
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