[实用新型]一种真空制程设备

权利要求书

1.一种真空制程设备，其特征在于，包括釜式反应器(1)、立式冷凝器(2)、油水分离器(3)、缓冲罐(4)以及真空泵(5)，所述立式冷凝器(2)的底部与釜式反应器(1)相连接，所述立式冷凝器(2)上安装有冷却水管道(6)，所述立式冷凝器(2)的顶部与列管冷凝器(7)的一端连接，所述列管冷凝器(7)的另一端与抽真空管路(9)相连接，所述油水分离器(3)的输入口与釜式反应器(1)相连接，所述油水分离器(3)的出气口与抽真空管路(9)相连接，所述抽真空管路(9)远离列管冷凝器(7)和油水分离器(3)的一端与缓冲罐(4)相连通，所述抽真空管路(9)上安装有比例阀(10)，所述真空泵(5)的一端通过出气管路(11)与缓冲罐(4)相连接，所述真空泵(5)的另一端连接有抽真空废气管路(13)。

2.根据权利要求1所述的一种真空制程设备，其特征在于：所述立式冷凝器(2)的顶部安装有温度计(8)。

3.根据权利要求2所述的一种真空制程设备，其特征在于：所述出气管路(11)上安装有压力表(12)。

4.根据权利要求3所述的一种真空制程设备，其特征在于：所述冷却水管道(6)上安装有流量控制阀(16)。

5.根据权利要求4所述的一种真空制程设备，其特征在于：所述列管冷凝器(7)与抽真空管路(9)的连接管路上设置有第一气动阀(17)，该连接管路上还连通有冷凝废气管路(14)，所述冷凝废气管路(14)上安装有第二气动阀(18)。

6.根据权利要求5所述的一种真空制程设备，其特征在于：所述真空泵(5)还连接有真空系统冷却管路(15)，所述真空系统冷却管路(15)上安装有第三气动阀(19)。