[实用新型]一种用于单晶生长设备的升降机构

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳、升降滑台、丝杆导轨、单晶炉体、电机、装配架、离合器、主动轴、短传动轴、锥齿轮和手动轴，所述外壳顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨，丝杆导轨前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架，所述单晶炉体右侧中部固定安装有右转座，所述单晶炉体左侧固定安装有左转座，所述右转座和左转座转动搭设在丝杆导轨架上。本实用新型在结构上设计合理，提供一种用于单晶生长设备的升降机构，该升降机构采用新型的传动机构，运行更加平稳的电机，能够准确、平稳地在规定时间内准确的完成规定的行程，从而确保单晶生长有更好的质量，使用起来方便快捷，实用性很高。

技术领域

本实用新型涉及半导体单晶生产技术领域，具体是一种用于单晶生长设备的升降机构。

背景技术

近年来，随着半导体行业的快速发展，对半导体材料的质量也提出了更加严格的要求，特别是对单晶产品质量和生产设备的要求。在半导体行业中，当单晶结晶过程中，根据工艺需求，单晶生长炉内石英容器及容器的支撑部分需要一个缓慢平稳的移动过程，促使其由熔融状态逐渐凝固成单晶体。目前，现有升降系统多采用单轴单点支撑，升降托盘由一根轴套带动运动。

现有工艺的缺点是：1、现有设备采用托盘单点支撑，它所支撑的单晶生长系统支撑结构不容易保证水平，会影响单晶炉体内晶棒形状;2、现有设备采用电动丝杠带动传动，而不带有手动微调能力，导致装置的使用受限；3、现有设备采用皮带传动，容易出现打滑，传动速度不稳定，严重影响设备寿命不利于晶体的生长。因此，需要提出一种使单晶生长托盘更加平稳升降的升降装置，以改善单晶生长的操作过程，提高单晶生长的质量。

因此，本领域技术人员提供了一种用于单晶生长设备的升降机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶生长设备的升降机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳、升降滑台、丝杆导轨、单晶炉体、电机、装配架、离合器、主动轴、短传动轴、锥齿轮和手动轴，所述外壳顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨，丝杆导轨前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架，所述单晶炉体右侧中部固定安装有右转座，所述单晶炉体左侧固定安装有左转座，所述右转座和左转座转动搭设在丝杆导轨架上，所述左转座左侧前部固定安装有折臂，折臂前端贯穿转动安装有调节螺杆，位于左部的所述丝杆导轨右侧滑接安装有转接螺母座，转接螺母座可以通过螺栓与丝杆导轨侧壁紧密压接进行定位，所述转接螺母座通过螺纹与调节螺杆啮合旋接，所述外壳内侧后部固定安装有电机，所述外壳底端左部内壁固定安装有装配架，装配架中部固定安装有离合器，离合器后端固定安装有主动轴，所述电机通过外接齿轮与主动轴啮合连接，所述离合器前端插接固定安装有手动轴，手动轴前端贯穿延伸到外壳前侧外部，所述手动轴前端固定安装有手轮，所述手动轴外侧中部固定安装有锥齿轮，所述外壳内侧右部转动安装有长传动轴，所述外壳内侧左部转动安装有短传动轴，所述长传动轴和短传动轴左右两端分被固定安装有传动锥齿轮，所述长传动轴和短传动轴通过锥齿轮及传动锥齿轮与手动轴啮合连接，所述外壳顶端固定安装有左右对称的升降滑台，所述升降滑台内部侧壁装配安装有托板，所述丝杆导轨内部的丝杆底端固定安装有水平设置的从动锥齿轮，所述长传动轴和短传动轴通过从动锥齿轮及传动锥齿轮相互啮合连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述外壳顶端中部摆动安装有检修板，检修板通过卡扣与外壳固定装配。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支脚底端固定安装有胶垫。

作为本实用新型再进一步的方案：两个所述丝杆导轨内部的丝杆旋向相反。

作为本实用新型再进一步的方案：所述电机、升降滑台和离合器通过线束与外部电源及外部控制设备电性连接，所述电机采用无刷电机，所述离合器采用电磁离合器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：