[实用新型]一种溅镀空间可调的溅镀机

说明书

本实用新型公开了一种溅镀空间可调的溅镀机，溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述支撑杆沿所述通孔滑动，所述支撑杆带动所述安装板和所述阴极电极进行升降，从而调节溅镀空间的大小，使所述溅镀机可适应不同大小和不同需求工件，增强适用性。

技术领域

本实用新型涉及溅镀设备技术领域，具体的是一种溅镀空间可调的溅镀机。

背景技术

溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，现有的溅镀装置其溅镀空间不可调节，在遇到不同大小或不同需求的工件时，无法做出相应的调整，因此，急需提供一种溅镀空间可调的溅镀机。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种溅镀空间可调的溅镀机，以解决上述背景技术中提出的问题。

本申请实施例公开了：一种溅镀空间可调的溅镀机，包括溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构。

优选的，所述溅镀仓的底部连接有箱体，所述驱动机构位于所述箱体内，所述驱动机构包括横向设于所述箱体内的螺纹杆，所述螺纹杆的两端可转动连接在箱体的内壁上，所述螺纹杆连接有伺服电机，所述箱体内可转动连接有两个与所述螺纹杆啮合的齿轮，两个所述齿轮关于所述支撑杆对称，所述齿轮的上方可转动连接有与之啮合的端面齿轮，所述端面齿轮的上端面连接有转轴，所述转轴的顶端通过万向接头连接有套筒的一端，所述套筒的内壁设有螺纹，所述套筒内连接有与之匹配的丝杆，所述丝杆靠近所述支撑杆的一端通过销轴可转动连接所述支撑杆的底端。

优选的，所述通孔的周面与所述支撑杆的周面之间连接有绝缘密封垫圈，所述绝缘密封垫圈固定在所述通孔的周面上。

优选的，所述溅镀仓的顶部连接有储气罐，所述储气罐通过输气泵与所述溅镀气体入口连接。

优选的，所述排气口连接有抽真空泵，所述抽真空泵通过支架连接在所述溅镀仓的外壁上。

本实用新型的有益效果如下：所述伺服电机通过所述螺纹杆、所述齿轮和所述端面齿轮驱动所述转轴旋转，所述转轴通过所述万向接头驱动所述套筒旋转，所述铜套驱动所述丝杆进行伸缩，进而使所述丝杆推动所述支撑杆，带动所述安装板和所述阴极电极进行升降，从而调节溅镀空间的大小，使所述溅镀机可适应不同大小和不同需求工件，增强适用性。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种溅镀空间可调的溅镀机结构示意图。

以上附图的附图标记：1、溅镀仓；2、溅镀气体入口；3、排气口；4、阳极电极；5、阴极电极；6、安装板；7、支撑杆；8、通孔；9、螺纹杆；10、齿轮；11、端面齿轮；12、转轴；13、万向接头；14、套筒；15、丝杆；16、绝缘密封垫圈；17、储气罐；18、输气泵；19、抽真空泵。