[实用新型]一种高效磁致伸缩补液装置

说明书

一种高效磁致伸缩补液装置，包括高液位溢流保护装置、补液桶、浮球、手动阀门、供液阀、第一补液阀和第二补液阀，所述高液位溢流保护装置固定安装在所述补液桶的外部的顶端，所述补液桶的内部竖直设置有金属杆，所述金属杆与所述补液桶同轴，所述浮球安装在所述金属杆的底部，所述浮球相对所述金属杆上下移动，所述补液桶的外部的底部中间位置固定安装有手动阀门，所述手动阀门的进液口与所述补液桶的内部连通，所述手动阀门的出液口固定安装有第一三通，所述第一三通的第二接口的底部固定安装有第一补液阀，所述第一三通的第三接口与所述第二补液阀的进液口固定连接，所述手动阀门的底部中间位置固定安装有供液阀。

技术领域

本实用新型涉及光伏半导体补液领域，特别涉及一种高效磁致伸缩补液装置。

背景技术

光伏半导体等行业会使用各种清洗设备对硅片基底进行各种处理，这类湿制程设备普遍需要定时进行精确的化学品补加，目前使用比较频繁的补液系统主要有流量计补液、超声波补液、磁致伸缩补液这三个系统，采用流量计的方式补液流量较大速度较快，但补液精度较差，超声波补液精度次之，磁致伸缩补液系统补液精度最高但补液速度太慢，而量产过程中，补液系统的补液速率太慢直接导致配液时间太长，从而影响设备产能，现有磁致伸缩药液补加通过一路阀门和管路控制，当浮球到达设定体积位置时阀门关闭补加结束，但目前的补液系统由于出液口较大时流量较大，阀门开关瞬间补加的液体体积仍然较大，所以导致流量计补液精度较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高效磁致伸缩补液装置，具有通过增加一路补液管路，补液初期两个阀同时开启，最后精补阀开启，达到兼顾补液速度和补液精度的目的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种高效磁致伸缩补液装置，所述高液位溢流保护装置固定安装在所述补液桶的外部的顶端，所述补液桶的内部竖直设置有金属杆，所述金属杆与所述补液桶同轴，所述浮球安装在所述金属杆的底部，所述浮球相对所述金属杆上下移动，所述补液桶的外部的底部中间位置固定安装有手动阀门，所述手动阀门的进液口与所述补液桶的内部连通，所述手动阀门的出液口固定安装有第一三通，所述第一三通的第二接口的底部固定安装有第一补液阀，所述第一三通的第三接口与所述第二补液阀的进液口固定连接，所述手动阀门的底部中间位置固定安装有供液阀。

进一步的，所述第一三通的第二接口的半径相对于所述第一三通的第三接口的半径大。

进一步的，所述第一三通的第二接口的底部固定安装有第二三通，所述第二三通的第一接口与所述第一三通的第二接口连通，所述第二三通的第二接口与所述第一补液阀的进液口连通，所述第二三通的第三接口与所述供液阀的出液口连通。

进一步的，所述第二补液阀的上下油令处固定安装有截流片，所述截流片用于控制所述第二补液阀的出口流量。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过增加一路补液管路的方式，补液初期两个阀同时开启，最后精补阀开启的设置，能够起到兼顾补液速度和补液精度的效果。

附图说明

图1是本实施例中的结构示意图，用于体现高液位溢流保护装置、补液桶、浮球、手动阀门、供液阀、第一补液阀和第二补液阀之间的连接关系；

图2是本实施例中补液桶的结构示意图，用于体现金属杆和浮球之间的连接关系；

图3是本实施例中用于体现截流片的结构示意图。

图中，1、高液位溢流保护装置；2、补液桶；21、金属杆；3、浮球；4、手动阀门；5、供液阀；6、第一补液阀；7、第二补液阀；8、第一三通；9、第二三通；10、截流片。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。