[实用新型]一种易取坩埚

说明书

本实用新型涉及一种易取坩埚，应用于高温制造过程中,所述坩埚的内表面对应石英坩埚的外表面，所述坩埚包括一埚体和至少一活动块，所述埚体对应所述活动块的位置开设一侧孔，一个所述活动块设置在一个所述侧孔中，所述活动块靠近所述石英坩埚的一侧的面积大于另外一侧的面积，所述侧孔的形状对应所述活动块的形状。本申请的坩埚在每次去除石英坩埚时,采用活动块直接敲打石英坩埚，使得坩埚和石英坩埚完好分离，不易损坏外侧的坩埚，可以有效延长外侧坩埚的寿命。

技术领域

本实用新型涉及一种热场装置，具体涉及一种采用敲打方式容易和石英坩埚分离的坩埚。

背景技术

在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在现有技术设备中，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场的可靠性也要求越来越高，其它诸如高温炉和气淬炉也有这样的要求。由于直径越大那么其壁厚要求也越大，所以重量很重，现有技术已经使用轻质的材料或拼接方式制作坩埚，但是，使用大的石墨块挖空来制作坩埚，或者是其它材料例如碳碳，又或者是采用拼接制作，由于都是包覆在石英坩埚的外表面，在石英坩埚损坏时，往往石英坩埚的外表面贴附在坩埚的内表面，在敲打损坏的石英坩埚时，同时会造成外部坩埚的损伤。

综上所述，现有技术高温热场的坩埚除了自身的使用寿命到期需要更换外，在石英坩埚损坏敲打时，也会报废更新，形成浪费，造成成本增加。

因此，现有技术的坩埚还有提升的地方。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种采用活动块敲打方式，容易和石英坩埚分离的坩埚，以解决现有技术的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下的技术方案：

一种易取坩埚，应用于高温制造过程中,所述坩埚的内表面对应石英坩埚的外表面，所述坩埚包括一埚体和至少一活动块，所述埚体对应所述活动块的位置开设一侧孔，一个所述活动块设置在一个所述侧孔中，所述活动块靠近所述石英坩埚的一侧的面积大于另外一侧的面积，所述侧孔的形状对应所述活动块的形状。

依照本申请较佳实施例所述的易取坩埚，所述活动块的外沿切面为斜线。

依照本申请较佳实施例所述的易取坩埚，所述活动块的外沿切面为阶梯状。

依照本申请较佳实施例所述的易取坩埚，所述活动块的外沿为多边形。

本申请的核心思想在于，制作一种坩埚，坩埚上开设侧孔，在侧孔中设置活动块，活动块的内侧面积大于外侧面积，采用嵌入结构，活动块只能从内侧移出，这样在受到石英坩埚膨胀挤压时不至于脱落，这种坩埚上设置的活动块可以根据实际的设计要求灵活设计其数量和位置，便于实现快速破碎石英坩埚而不会伤害设置在石英坩埚外侧的坩埚，使用达到设计寿命，节约成本。所谓的易取的意思是容易将坩埚中损坏的石英坩埚取出来的意思。

由于采用了以上的技术方案，使得本实用新型具有如下的优点效果：

1、本申请的坩埚在每次去除石英坩埚时,采用活动块直接敲打石英坩埚，使得坩埚和石英坩埚完好分离，不易损坏外侧的坩埚，可以有效延长外侧坩埚的寿命；

2、本申请的坩埚可以大大节约取出石英坩埚的时间，提升生产效率节约企业成本。

3、本申请的坩埚设置多个活动块，可以采用专用破除工装一次去除石英坩埚，为自动化拆除石英坩埚提供了解决方案。

当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。

附图说明

图1为本申请坩埚和石英坩埚示意图；

图2为本申请活动块的剖开示意图；

图3为本申请活动块的另一剖开示意图；