[实用新型]一种具有预除尘功能的真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，包括壳体，所述壳体的顶部固定连接有真空泵，所述壳体的顶部且位于真空泵的左侧固定连接有集尘箱。本实用新型通过设置通过真空泵、集尘箱、存储箱、过滤出气网、吸气管、吸气罩、安装板、第一弹簧、沾尘辊、支撑腿、第二弹簧、阻尼器、支撑底部、导向杆和第三弹簧的配合使用，解决了现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致连接松动等现象发生的问题。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种具有预除尘功能的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。

在真空镀膜的过程中，常需要使用真空镀膜设备，现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致零件松动等的现象发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，具备在镀膜前进行预镀膜和对设备进行震动的优点，解决了现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致零件松动等现象发生的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，包括壳体，所述壳体的顶部固定连接有真空泵，所述壳体的顶部且位于真空泵的左侧固定连接有集尘箱，所述真空泵的进气端贯穿至壳体的内腔并连通有吸气管，所述吸气管的底部连通有吸气罩，所述壳体内腔的前后两侧均镶嵌安装有安装箱，所述安装箱的内腔活动设置有安装板，所述安装板的顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧靠近安装箱内壁的一侧与安装箱固定连接，两个安装板相对的一侧均通过转轴活动连接有沾尘辊，所述沾尘辊的顶部且位于沾尘辊的两侧均贯穿设置有导向杆，所述安装板的顶部固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧靠近安装箱内壁的一侧与安装箱的内壁固定连接，所述第三弹簧套设在导向杆的表面，所述壳体的内腔活动设置有传送装置，所述壳体内腔底部的左侧固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有托起板，所述托起板的顶部固定连接有红外线传感器，所述壳体内腔顶部的左侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的输出端固定连接有镀膜装置，所述壳体底部的四角均固定连接有支撑腿，所述支撑腿的内腔活动设置有阻尼器，所述支撑腿内腔的顶部固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的底部与阻尼器固定连接，所述阻尼器的底部贯穿至支撑腿的外侧并固定连接有支撑底部。

优选的，所述支撑底部的底部开设有防滑纹，所述壳体内腔的顶部固定连接有与吸气管配合使用的卡环。

优选的，所述传送装置的表面开设有与托起板配合使用的滑槽，所述壳体的正面镶嵌安装有观察镜。

优选的，所述集尘箱的正面通过铰链活动连接有第一活动门，第一活动门的正面固定连接有把手，所述壳体的两侧均通过铰链活动连接有第二活动门。

优选的，所述集尘箱的内腔活动连接有存储箱，所述集尘箱的顶部镶嵌安装有过滤出气网。

优选的，所述壳体的正面固定连接有控制器，所述控制器的输出端分别与真空泵、传送装置、第二电动伸缩杆、镀膜装置和第一电动伸缩杆电性连接，所述控制器的输入端与红外线传感器电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：