[实用新型]一种用于晶圆探针测量的测量仪

权利要求书

1.一种用于晶圆探针测量的测量仪，其包括安装架、影像测量仪、晶圆放置区，所述晶圆放置区用于放置晶圆，所述影像测量仪用于采集所述晶圆的图像信息，其特征在于，其还包括显微镜测量仪、固定于所述安装架的连接板、用于放置探针的探针放置区，所述影像测量仪、显微镜测量仪并排固定于所述连接板，所述显微镜测量仪的镜头朝下与所述探针放置区对应，所述显微镜测量仪用于采集所述探针的放大图像信息，所述影像测量仪与控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆探针测量的测量仪，其特征在于，所述安装架包括第一丝杆导轨滑台，所述第一丝杆导轨滑台包括凹形第一滑台、活动安装于所述第一滑台的第一丝杆、与所述第一丝杆滑动连接的第一滑块、驱动所述丝杆转动的第一丝杠驱动装置，所述连接板的一侧端固定于所述第一滑块，所述影像测量仪、显微镜测量仪固定于所述连接板的另一侧端，所述第一丝杠驱动装置包括第一驱动杆，所述第一驱动杆的一端与所述第一滑台的一侧端转动连接，所述第一驱动杆的中部固定有与所述第一丝杆啮合的齿轮，所述第一驱动杆的另一端贯穿所述第一滑台的另一侧端并与第一摇杆固定。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆探针测量的测量仪，其特征在于，所述安装架还包括第二丝杆导轨滑台，所述第二丝杆导轨滑台包括第二滑台、活动安装于所述第二滑台的第二丝杆、与所述第二丝杆滑动连接的第二滑块、驱动所述第二丝杆转动的第二丝杠驱动装置，所述晶圆放置区、探针放置区位于同一平台，所述平台固定于所述第二滑块，所述第二丝杠驱动装置包括第二驱动杆、固定于所述第二驱动杆中部并与所述第二丝杆啮合的第二齿轮、固定于所述第二驱动杆两侧端的第二摇杆。

4.根据权利要求1或3所述的一种用于晶圆探针测量的测量仪，其特征在于，所述连接板为U形，所述连接板的另一端两侧分别开有若干螺纹孔，所述影像测量仪、显微镜测量仪分别固定于第一固定板、第二固定板，所述第一固定板、第二固定板分别通过螺钉固定于所述螺纹孔内。