[实用新型]一种千级无尘室空调系统

说明书

本实用新型提出一种千级无尘室空调系统，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端设有送风管道，送风管道设有满布送风口和洁净送风单元FFU，空气由送风口上往下均匀送风，颗粒物在通过FFU中高效过滤器被捕获可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速被高效过滤器捕获，并由高架地板回风至技术夹道送回的干盘管加热后送至送风管道，循环空气通过干盘管加热回流使得无尘室室内壳体内部恒温恒湿效果更好，同时技术夹道和送风管道外层设有一层环氧树脂，防止夹道和送风管道外层落灰，洁净度更高。

技术领域

本实用新型涉及无尘室领域，较为具体的，涉及到一种千级无尘室空调系统。

背景技术

无尘室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排出，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性，洁净室主要用于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。

随着人们对产品质量的要求的提高，对于产品所在的无尘室的要求也相应的提高了，如何使得无尘室的更洁净，恒温恒湿的控制更好，是当下急需要解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，为了解不论外在的空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求温湿度及压力并具有更好的洁净度等性能的问题，本实用新型提出一种千级无尘室空调系统，空气由新风系统过滤加湿或表冷除湿后通过在无尘室室内壳体内部顶端设有送风管道，送风管道设有满布送风口和洁净送风单元FFU，空气由送风口上往下均匀送风，颗粒物在通过FFU中高效过滤器被捕获可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速被高效过滤器捕获，并由高架地板回风至技术夹道送回的干盘管加热后送至送风管道，循环空气通过干盘管加热回流使得无尘室室内壳体内部恒温恒湿效果更好，同时技术夹道和送风管道外层设有一层环氧树脂，防止夹道和送风管道外层落灰，洁净度更高。

一种千级无尘室空调系统，其包括：新风系统1和室内壳体2，室内壳体2的顶部设有送风口3，送风口3的下方设有洁净送风单元FFU4，其特征在于：洁净送风单元FFU4满布在室内壳体2内部顶端，每个洁净送风单元FFU4的内部设有电机、风扇和高效率高效空气过滤器，室内壳体2的两侧设有技术夹道6，技术夹道6靠近洁净送风单元FFU4处设有干盘管7，所述干盘管7连接技术夹道6和水循环系统8，所述技术夹道6下方设有回风口10与室内连通，技术夹道6和送风管道14采用洁净板，采用洁净板外层设有一层环氧树脂。

进一步的，每个洁净送风单元FFU4处设有一压差传感器9。

进一步的，水循环系统8包括回水管81和供水管82，回水管81的水温为19℃，供水管82的水温为13℃。

进一步的，回水管81上设有电动水阀12，供水管82上设有手动水阀11，电动水阀12和手动水阀11的设置使得水循环系统8可根据需求调节用水量，对干盘管提供热量。

进一步的，送风口3处连接有电动风阀13，通过电动风阀13来调节送风口的送风量。

进一步的，回风口10与室内连通处设有百叶回风口10，通过百叶回风口10对气流方向进行一个导向调节作用。

进一步的，恒温的温度正常在22±2℃，恒湿的湿度正常在55±5％。根据工艺要求温度，湿度和洁净度可以通过PLC空调自控系统自主设置。

进一步的，新风系统1包括：初效过滤器、中效过滤器、表冷段、加热段、第一风机、加湿器、亚高效过滤器和均流板，空气依次通过初效过滤器、中效过滤器后选择表冷段或者加热段至室内壳体的温度，随后经过风机鼓吹至加湿器进行除味加湿后经过亚高效过滤器过滤后经过均流板均匀的吹至室内壳体2的送风口3。