[实用新型]一种核孔膜蚀刻线生产装置

权利要求书

1.一种核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，该装置包括卷膜装置、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置和若干传动轴；

所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置，所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机，所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机，所述放料卷的转轴连接所述放料电机，所述收料卷的转轴连接所述收料电机；

所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、测厚装置以及收料卷顺序依次间隔设置，所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴，且相邻两槽之间上方也设置有传动轴；所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴；所述测厚装置底部平行间隔设置有两个传动轴；其中，

所述蚀刻槽内还设置有清洗装置，用于对所述蚀刻槽内的残渣进行清洗。

2.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述蚀刻槽内设置有蚀刻液，用于将核孔膜上的辐照孔扩大，使孔周围残屑脱落。

3.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述清洗装置包括金属网、运动导轨、水平牵引电机、垂直牵引电机和清洗喷头；所述金属网覆盖在所述蚀刻槽底部，所述运动导轨分布在蚀刻槽的四个边角固定连接所述金属网，用于使所连接的金属网垂直上升到所述蚀刻槽的顶部，所述水平牵引电机和垂直牵引电机通过控制运动导轨进行垂直和水平运动，使得使金属网能自动升降到顶部并平移到蚀刻槽外部，设置在蚀刻槽外部的所述清洗喷头用于清洗金属网上的蚀刻残渣。

4.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述清洗槽内设置有纯水，用于清洗蚀刻后的膜。

5.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述烘干槽内设置有烘干设备，用于烘干清洗后的膜。

6.根据权利要求1～4任一项所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述测厚装置采用激光测厚仪，用于测量经蚀刻完成的膜厚度。

7.根据权利要求1～4任一项所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述蚀刻槽内还设置有温度传感器和加热棒，所述温度传感器用于对蚀刻液的温度进行实时的监测；所述加热棒设置在蚀刻槽的底部，用于对蚀刻液的温度进行加热。

8.根据权利要求1～4任一项所述的核孔膜蚀刻线生产装置，其特征在于，所述蚀刻槽内还设置有浓度传感器，用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度进行实时监测。